厦门芯壹方科技有限公司张婧获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门芯壹方科技有限公司申请的专利一种垂直堆叠的薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224133169U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520838121.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种垂直堆叠的薄膜沉积设备是由张婧;连水养;张志轩;吴金龙;王伟昌;朱玉泉设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种垂直堆叠的薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种垂直堆叠的薄膜沉积设备，包括支撑体、进出气组件和冷却组件，支撑体内部形成有多个工艺腔，相邻工艺腔之间通过隔热层进行阻隔，支撑体朝外一面形成有上下开合式腔门，支撑体侧壁形成有进气孔和出气孔，进出气组件包括进气管和出气管，进气管位于出气管内，进气管穿过出气管侧壁与进气孔相连通，出气管与出气孔相连通，冷却组件用于冷却工艺腔，通过在支撑体内设置多个工艺腔，使得多个工艺腔实现上下堆叠，相对于现有的水平排布，占地面积更少，且为了适应上下堆叠的工艺腔，本方案将进气管内置在出气管中，进气管穿过出气管侧壁连通工艺腔进气孔，出气孔则直接与出气管相连通，空间利用率提升，形成稳定、高效的沉积环境。
本实用新型一种垂直堆叠的薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种垂直堆叠的薄膜沉积设备，其特征在于：包括支撑体、进出气组件和冷却组件，所述支撑体内部形成有多个工艺腔，相邻所述工艺腔之间通过隔热层进行阻隔，所述支撑体外侧形成有上下开合式腔门，所述支撑体侧壁形成有进气孔和出气孔，所述进出气组件包括进气管和出气管，所述进气管位于出气管内，所述进气管穿过出气管侧壁与进气孔相连通，所述出气管与出气孔相连通，所述冷却组件用于冷却工艺腔。
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