蓝河科技(绍兴)有限公司徐春阳获国家专利权
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龙图腾网获悉蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利设有衬底载体的气相生长设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224133170U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520991401.1，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型设有衬底载体的气相生长设备是由徐春阳;张志明;颜邦纯;黄海春设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本设有衬底载体的气相生长设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种设有衬底载体的气相生长设备。气相生长设备包括衬底载体，衬底载体包括承载凹槽、导气槽、进气部和排气部；承载凹槽设于衬底载体的承载面以用于承载衬底；导气槽设置于承载凹槽的内底面，导气槽包括靠近内底面的中心的第一端部和远离内底面的中心的第二端部；进气部与第一端部相通，使进气部所提供的驱动气体沿导气槽的延伸方向朝向对应的第二端部流动，以带动衬底旋转；排气部包括相通的排气口和排气管路，排气口设置于承载凹槽的内底面且与第二端部对应设置，排气管路设置于衬底载体且朝向衬底载体的底部延伸，以使自第二端部逸出的驱动气体朝向衬底载体的底部方向排出。本申请有利于保证衬底的气浮旋转效果。
本实用新型设有衬底载体的气相生长设备在权利要求书中公布了：1.一种设有衬底载体的气相生长设备，其特征在于，包括衬底载体，所述衬底载体包括： 承载凹槽，设于所述衬底载体的承载面以用于承载衬底； 导气槽，设置于所述承载凹槽的内底面，所述导气槽包括靠近所述内底面的中心的第一端部和远离所述内底面的中心的第二端部； 进气部，与所述第一端部相通，使所述进气部所提供的驱动气体沿所述导气槽的延伸方向朝向对应的所述第二端部流动，以带动所述衬底旋转； 排气部，包括相通的排气口和排气管路，所述排气口设置于所述承载凹槽的内底面且与所述第二端部对应设置，所述排气管路设置于衬底载体且朝向衬底载体的底部延伸，以使自所述第二端部逸出的驱动气体朝向所述衬底载体的底部方向排出。
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