蓝河半导体科技(长兴)有限公司徐春阳获国家专利权
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龙图腾网获悉蓝河半导体科技(长兴)有限公司申请的专利设有导流槽的衬底载体获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224133247U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520992186.7，技术领域涉及：C30B25/12；该实用新型设有导流槽的衬底载体是由徐春阳;张志明;颜邦纯;黄海春设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本设有导流槽的衬底载体在说明书摘要公布了：本申请提供了一种设有导流槽的衬底载体。衬底载体包括载体本体、凹穴、导流槽和匀气槽，载体本体内设有驱动气体输入通道；凹穴设于载体本体的承载表面，以用于承载衬底；导流槽设于凹穴的内底面，导流槽的起始端部连通驱动气体输入通道，以用于使驱动气体流入导流槽并驱动所述衬底旋转；匀气槽横跨于导流槽的末端部的延伸路径上，使自所述末端部逸出的所述驱动气体通过所述匀气槽缓冲并扩大扩散范围。本申请有利于减少或避免因导流槽逃逸的驱动气体在衬底和凹穴边缘处的若干局部区域产生一股股冲击性的扰流，使得衬底上方的工艺气体流场受到显著扰乱而不利于成膜质量的问题。
本实用新型设有导流槽的衬底载体在权利要求书中公布了：1.一种设有导流槽的衬底载体，其特征在于，包括： 载体本体，内设有驱动气体输入通道； 凹穴，设于所述载体本体的承载表面，以用于承载衬底； 导流槽，设于所述凹穴的内底面，起始端部连通所述驱动气体输入通道，以用于使驱动气体流入所述导流槽并驱动所述衬底旋转； 匀气槽，横跨于所述导流槽的末端部的延伸路径上，使自所述末端部逸出的所述驱动气体通过所述匀气槽缓冲并扩大扩散范围。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人蓝河半导体科技(长兴)有限公司，其通讯地址为：313100 浙江省湖州市长兴县画溪街道长吕路西侧；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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