江苏容方半导体科技有限公司刘挺获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏容方半导体科技有限公司申请的专利一种碳化硅外延炉晶圆托盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224133249U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521008056.1，技术领域涉及：C30B29/36；该实用新型一种碳化硅外延炉晶圆托盘是由刘挺;赵永光设计研发完成，并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅外延炉晶圆托盘在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体公开了一种碳化硅外延炉晶圆托盘，包括基体，所述基体采用碳化硅材质，所述晶圆固定结构，包括设置于基体表面至少两圈同心环形排列的凸起支撑点，所述气流通道包括开设于基体中心区域的多个通孔同心环形排列的凸起支撑点减少接触面积，避免晶圆与托盘表面大面积贴合，从而降低热应力积累，同时防止晶圆滑动，通孔形成气体垂直流动通道，促进反应气体向晶圆表面均匀扩散，边缘螺旋状导流槽引导气体沿螺旋路径流动，改善晶圆边缘与中心区域的温度场均匀性，底部加强筋采用放射状与圆环交叉结构，通过分散热应力集中区域，抑制基体在高温下的翘曲变形，提升托盘整体刚性。
本实用新型一种碳化硅外延炉晶圆托盘在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅外延炉晶圆托盘，其特征在于：包括： 基体1，所述基体1采用碳化硅材质； 晶圆固定结构，包括设置于基体1表面至少两圈同心环形排列的凸起支撑点2； 气流通道，包括开设于基体1中心区域的多个通孔3，以及位于基体1边缘区域的螺旋状导流槽5； 抗变形结构，包括固定连接于基体1底部的加强筋4，所述加强筋的厚度为基体1厚度的13-12； 安装接口，包括分布于基体1边缘的多个定位销孔6。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏容方半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市梁溪区会北路29号3栋1层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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