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江苏容方半导体科技有限公司刘森获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏容方半导体科技有限公司申请的专利用于碳化硅外延的加热装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224133250U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521008750.3,技术领域涉及:C30B29/36;该实用新型用于碳化硅外延的加热装置是由刘森;张子轩设计研发完成,并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。

用于碳化硅外延的加热装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了用于碳化硅外延的加热装置,包括底框、加热环和上框,上框上端固定连接有伸缩管,伸缩管上端固定连接有混合筒,混合筒上端一侧固定连接有碳源管,混合筒上端另一侧固定连接有氮源管,底框底端均匀开设有出气孔,底框底端固定连接有导气框,导气框底侧插接有分子筛,分子筛底端固定连接有挡板,导气框一侧固定连接有导流管,导流管与混合筒相通,混合筒一侧固定连接有气泵,本实用新型通过在加热环底侧及导气框内均匀设置回型管,并在回型管内填充水体来吸收导出气流的热气,并传导至混合筒内,对进入到混合筒内的碳源气体及氮气进行混合和预热,从而提升碳化硅的加热效率和速度,降低生产成本。

本实用新型用于碳化硅外延的加热装置在权利要求书中公布了:1.用于碳化硅外延的加热装置,包括底框1、加热环2和上框3,其特征在于,所述上框3上端固定连接有伸缩管4,所述伸缩管4上端固定连接有混合筒5,所述混合筒5上端一侧固定连接有碳源管6,所述混合筒5上端另一侧固定连接有氮源管7,所述底框1底端均匀开设有出气孔,所述底框1底端固定连接有导气框8,所述导气框8底侧插接有分子筛9,所述分子筛9底端固定连接有挡板,所述导气框8一侧固定连接有导流管10,所述导流管10与混合筒5相通,所述混合筒5一侧固定连接有气泵11,所述气泵11输出端与导流管10相通,所述导气框8上均匀插接有回型管12,所述回型管12外侧设置有保温框18,所述保温框18的两端分别固定连接混合筒5和导气框8,所述回型管12内填充有水体,所述回型管12一侧位于混合筒5内,所述混合筒5内上下两侧均固定连接有挡环19,所述混合筒5内固定连接有导气罩13,所述导气罩13底侧固定连接有支架且支架内转动连接有风扇14。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏容方半导体科技有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市梁溪区会北路29号3栋1层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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