江苏鲁汶仪器股份有限公司刘宜畅获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种调中机构和半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224135537U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521152797.7，技术领域涉及：F16M11/04；该实用新型一种调中机构和半导体设备是由刘宜畅;桑康;胡冬冬;刘海洋;陈龙保;许开东设计研发完成，并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种调中机构和半导体设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体设备技术领域，具体提供一种调中机构和半导体设备，调中机构包括：待调节部件；载台；两个差动螺纹组件，连接待调节部件和载台，其中一个差动螺纹组件沿第一方向延伸，并和待调节部件沿第二方向具有活动间隙，另一个差动螺纹组件沿第二方向延伸，并和待调节部件沿第一方向具有活动间隙，第一方向和第二方向相互垂直。本申请通过螺纹差动原理实现待调节部件的高精度调节，可控螺纹旋转操作重复定位精度高，单次调节耗时短；省去传统机械工装，解决机械工装约束面临空间适配性问题，及在高温工艺条件下产生严重热变形误差的问题。
本实用新型一种调中机构和半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种调中机构，其特征在于，包括： 待调节部件1； 载台2； 两个差动螺纹组件3，连接所述待调节部件1和所述载台2，其中一个所述差动螺纹组件3沿第一方向延伸，并和所述待调节部件1沿第二方向具有活动间隙，另一个所述差动螺纹组件3沿所述第二方向延伸，并和所述待调节部件1沿所述第一方向具有活动间隙，所述第一方向和所述第二方向相互垂直。
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