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龙图腾网获悉上海大学申请的专利一种光纤法布里珀罗超声传感器及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114755535B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210219406.3，技术领域涉及：G01R31/12；该发明授权一种光纤法布里珀罗超声传感器及其制作方法是由王廷云;牛锡玲;黄怿;邓传鲁;胡程勇;张小贝设计研发完成，并于2022-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光纤法布里珀罗超声传感器及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种光纤法布里珀罗超声传感器及其制作方法，在传统石英膜片的基础上，利用光刻与氢氟酸腐蚀技术制备得到双面凹槽型的石英膜片，减小了石英膜片的中心厚度，石英膜片在受到超声波作用时能够产生更大的形变量，传感器对局部放电信号的捕捉更敏感和精确，提高了传感器灵敏度的同时也提高了膜片的固有频率，增加了传感器的频率探测范围；同时石英膜片上设置的多个矩形凹槽连通了法布里珀罗腔内外的空气，避免了温度升高后腔内气体膨胀导致的传感器测量误差；也便于外部环境气体进入法布里珀罗腔内，可以利用不同气体折射率变化判断环境气体变化，实现双参量传感；整个装置的结构简单，整体稳定性好，使用周期长，制造成本低廉，适于实用。

本发明授权一种光纤法布里珀罗超声传感器及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种光纤法布里珀罗超声传感器，其特征在于，包括：石英膜片，所述石英膜片的一端设置有第一凹槽，另一端设置有多个第二凹槽；石英管，沿所述石英管的长度方向设置有第三凹槽和第四凹槽，所述第三凹槽和第四凹槽相互连通，当所述石英膜片与所述石英管连接后，通过所述第二凹槽将石英膜片和第三凹槽形成的腔体与外界连通，使外界气体进入所述腔体中；单模光纤，设置于所述第四凹槽内，所述单模光纤与所述石英膜片相邻的端面构成法布里珀罗腔的两个反射面； 所述石英管包括均为圆管状的第一石英管、第二石英管和第三石英管，所述第一石英管套设于单模光纤上，所述第二石英管套设于第一石英管上，所述第三石英管套设于第二石英管上，其中，所述单模光纤、第一石英管和第二石英管处于同侧的一端位于同一平面内，并与所述第三石英管构成所述第三凹槽； 所述单模光纤与第三凹槽相邻的端面上设置有第一增反膜，所述石英膜片与石英管连接的端面上设置有第二增反膜； 所述石英膜片呈圆柱状，所述石英膜片与石英管同轴设置； 所述第一凹槽同轴设置于石英膜片上； 多个所述第二凹槽以所在端面的圆心为中心对称设置。

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