昂坤视觉(北京)科技有限公司孙华凯获国家专利权
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龙图腾网获悉昂坤视觉(北京)科技有限公司申请的专利一种数据分析方法、系统、介质、及电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114996071B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210772980.1,技术领域涉及:G06F11/22;该发明授权一种数据分析方法、系统、介质、及电子设备是由孙华凯;宦金宝;马铁中设计研发完成,并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种数据分析方法、系统、介质、及电子设备在说明书摘要公布了:本申请提供了一种数据分析方法、系统、介质及电子设备。该方法包括:获取待分析晶圆的至少一组检测数据;针对任意一组检测数据,根据对应的检测标准,对所述待分析晶圆进行标识,生成所述待分析晶圆的缺陷标识图;对各个缺陷标识图进行叠图操作,生成所述待分析晶圆的综合缺陷图,根据所述综合缺陷图进行针对所述待分析晶圆的数据分析。本申请的技术方案可以使得各工艺段的检测数据得以整合,能够明晰缺陷的演变和工艺问题,为工艺改进和设备监控提供有效的数据支持。
本发明授权一种数据分析方法、系统、介质、及电子设备在权利要求书中公布了:1.一种数据分析方法,其特征在于,所述方法包括: 获取待分析晶圆的至少一组检测数据; 针对任意一组检测数据,根据对应的检测标准,对所述待分析晶圆进行标识,生成所述待分析晶圆的缺陷标识图; 对各个缺陷标识图进行叠图操作,生成所述待分析晶圆的综合缺陷图,根据所述综合缺陷图进行针对所述待分析晶圆的数据分析; 所述针对任意一组检测数据,根据对应的检测标准,对所述待分析晶圆进行标识,包括: 生成所述待分析晶圆的网格图; 针对任意一组检测数据,根据对应的检测标准,对所述网格图进行标识; 所述针对任意一组检测数据,根据对应的检测标准,对所述网格图进行标识,包括: 针对任意一组检测数据,根据对应的检测标准,判断所述待分析晶圆出现缺陷的位置; 将所述待分析晶圆出现缺陷的位置映射至对所述网格图上,对出现缺陷的网格进行标识; 所述对各个缺陷标识图进行叠图操作,包括: 为各个缺陷标识图分配对应的填充颜色,所述填充颜色用于填充各个缺陷标识图中被标识的网格,将未被标识的网格的透明度调整为100;将单元网格最小的缺陷标识图作为基准,将其余缺陷标识图的网格重新进行分割定位; 确定各个缺陷标识图的正方向以及各个缺陷标识图中晶圆的中心位置; 按照各个缺陷标识图的正方向以及各个缺陷标识图中晶圆的中心位置,将各个缺陷标识图叠放于同一图层。
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