迈康尼股份公司M.格林托夫特获国家专利权
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龙图腾网获悉迈康尼股份公司申请的专利用于图案生成的方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115943349B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180042135.2,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权用于图案生成的方法和装置是由M.格林托夫特;J.斯特纳;R.埃克隆;F.伊伦;P.斯坦斯特罗姆设计研发完成,并于2021-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于图案生成的方法和装置在说明书摘要公布了:提出了一种用于SLM的具有周期性分量的图案的光栅化方法,该方法包括获得S10具有周期性的原始图案。确定S21第一图案主周期。获得S31成像元件的图像区域和第一间距。以第一光栅缩放因子缩放S41原始图案。剪裁S51缩放的图案,以包括被图像区域覆盖的在第一方向上呈现周期性的图案项目的第一整数次重复,从而提供适于预期图案生成器的光栅化图案。该光栅化图案与代表第一缩放因子的数据相关联。还公开了一种写入方法,该方法包括获得光栅化图案。将在图案生成器中落在光栅化图案之外的SLM的元件设置为禁用。以光学缩放因子将光栅化图案写入目标表面。
本发明授权用于图案生成的方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种用于基于空间光调制器2的图案生成器的具有周期性分量的图案的光栅化方法,所述空间光调制器2具有独立可控元件4的阵列3,该独立可控元件4的阵列3布置成在目标表面10上的图像区域14内产生成像元件22的阵列20,其中每个独立成像元件22的照射由相应的所述元件4控制,所述光栅化方法包括以下步骤: -获得S10具有呈现出周期性的图案项目32的原始图案30; -确定S21所述原始图案30的第一方向101上的第一图案主周期PM1; -获得S31关于待使用的预期图案生成器的所述第一方向101上的成像元件22的所述图像区域14和第一间距D1的信息; -在所述第一方向101上以第一光栅缩放因子缩放S41所述原始图案30,从而提供缩放的图案31; 所述第一光栅缩放因子等于第一整数乘以所述第一方向101上的所述图案生成器的所述第一间距D1除以所述第一图案主周期PM1; -剪裁S51所述缩放的图案31,以使其包括在所述第一方向101上呈现周期性的所述图案项目32的第一整数次重复,并且如果有的话,包括在所述预期图案生成器的所述第一方向101上被所述图像区域14覆盖的重叠的递减边距,从而提供适于所述预期图案生成器的光栅化图案33; 所述光栅化图案33与代表所述第一光栅缩放因子的数据相关联。
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