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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种光声光谱式多气体MEMS微型气体传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116165146B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310179837.6，技术领域涉及：G01N21/17；该发明授权一种光声光谱式多气体MEMS微型气体传感器是由王曙东;李运甲;华梦涵;王博洋;谢骁设计研发完成，并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光声光谱式多气体MEMS微型气体传感器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光声光谱式多气体MEMS微型气体传感器，包括封装管壳，封装管壳的空腔内分别设置有集成电路芯片、MEMS红外光源和MEMS压力传感器，集成电路芯片、MEMS红外光源和MEMS压力传感器之间电连接，集成电路芯片用于控制MEMS红外光源的工作状态，并读取MEMS压力传感器的输出信号，MEMS红外光源用于将电学信号转换为光学信号，MEMS压力传感器用于将声学信号转换为电学信号。本发明具有体积小、成本低、精度高、可靠性好等优势，可以实现多种气体的实时监测，具有较好的应用前景。

本发明授权一种光声光谱式多气体MEMS微型气体传感器在权利要求书中公布了：1.一种光声光谱式多气体MEMS微型气体传感器，其特征在于，包括封装管壳1，封装管壳1的空腔内分别设置有集成电路芯片2、MEMS红外光源3和MEMS压力传感器4，空腔的腔体深度小于2cm，腔体底面积小于4cm2，封装管壳1的空腔上方设置有封装盖板5，封装盖板5上设置有微贯通孔结构8，集成电路芯片2、MEMS红外光源3和MEMS压力传感器4之间电连接，集成电路芯片2用于控制MEMS红外光源3的工作状态，并读取MEMS压力传感器4的输出信号，MEMS红外光源3用于将电学信号转换为光学信号，MEMS压力传感器4用于将声学信号转换为电学信号； 集成电路芯片2至少包括两个，一个集成电路芯片2用于控制多个MEMS红外光源3的分时工作，另一个集成电路芯片2用于控制MEMS压力传感器4的信号检测； 其中一个集成电路芯片2与MEMS压力传感器4电气连接，专用于实现MEMS压力传感器4的供电、信号读取和信号放大，并将测得数据传输给另一个集成电路芯片2；另一个集成电路芯片2可控制多个MEMS红外光源3的时分复用工作，保证在同一时间仅有一个MEMS红外光源3处于工作状态，此时测得的压力信号幅值可用于反演相对应的气体浓度，每个MEMS红外光源3工作时间为1~15秒，从而保证多种气体的连续监测； MEMS红外光源3内部集成有窄带宽滤光片，窄带宽滤光片的波长λ与待测气体的红外吸收峰波长一致。

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