苏州江泓电子科技有限公司朱东风获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州江泓电子科技有限公司申请的专利一种多层膜材料、极紫外光反射镜及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116165848B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211092329.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种多层膜材料、极紫外光反射镜及其制备方法和应用是由朱东风;张秀霞设计研发完成，并于2022-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多层膜材料、极紫外光反射镜及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明属于极紫外光光学元件技术领域，具体涉及一种多层膜材料、极紫外光反射镜及其制备方法和应用。本发明提供了一种多层膜材料，包括层叠的周期单元，所述周期单元包括依次层叠的B4C层、Mo层、Y层和Si层；所述多层膜材料的两面层分别为B4C层和Si层。本发明在Mo层和Si层之间增加Y层，在Si层和Mo层之间增加B4C层能够抑制Mo层和Si层之间的扩散从而提高多层膜材料中Mo层和Si层的边界清晰度，进而提高了多层膜材料对极紫外光的反射率。
本发明授权一种多层膜材料、极紫外光反射镜及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种多层膜材料，包括层叠的周期单元，所述周期单元包括依次层叠的B4C层、Mo层、Y层和Si层；所述多层膜材料的两面层分别为B4C层和Si层；利用磁控溅射的方法制备多层膜材料； 一个周期单元中，B4C层的厚度为0.48~0.52nm，Mo层的厚度为2.22~2.26nm，Y层的厚度为0.48~0.52nm，Si层的厚度为3.67~3.71nm。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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