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浙江大学;武汉精测电子集团股份有限公司郝翔获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江大学;武汉精测电子集团股份有限公司申请的专利基于宽谱激光和波前编码的高分辨率表面测量方法与装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116399244B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310509623.0,技术领域涉及:G01B11/06;该发明授权基于宽谱激光和波前编码的高分辨率表面测量方法与装置是由郝翔;王玥颖;刘鑫;胡逸雯;秦明;肖恩桥设计研发完成,并于2023-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。

基于宽谱激光和波前编码的高分辨率表面测量方法与装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于宽谱激光和波前编码的高分辨率表面测量方法,该方法对宽谱激光光源进行波前相位调制,将不同波长的照明光聚焦到被测量物体表面法线方向的不同高度上;被测量的物体表面法线的镜面法线方向上接受光辐射,根据接收到的光辐射确定强度最高的波长;构造光谱暗斑分布,依次轮流照明样品,进行一次或多次光谱暗斑定位,确定精确的中心波长;根据中心波长来确定被测物体表面的高度。本发明光源使用宽谱激光,使系统光能利用率更高且易于相位调制;使用相位调制对照明光进行调制,有利于减小系统的轴外相差以获得更高的分辨率;光谱暗斑定位方法有利于在成像信号较弱时获得更高的成像定位精度。

本发明授权基于宽谱激光和波前编码的高分辨率表面测量方法与装置在权利要求书中公布了:1.一种基于宽谱激光和波前编码的高分辨率表面测量方法,其特征在于,该方法具体步骤如下: S1、对宽谱激光光源进行波前相位调制,将不同波长的照明光聚焦到被测量物体表面法线方向的不同高度上; S2、从被测量的物体表面法线的镜面反射方向上接受光辐射,根据接收到的光辐射确定强度最高的波长; S3、根据强度最高的波长选取k个位置构造光谱暗斑,依次照明样品,进行一次或多次光谱暗斑定位,确定精确的中心波长;所述光谱暗斑定位方法具体为: 一个光谱暗斑的光谱分布为,这个暗斑关于对称且在处有极小值,即定义这个光谱暗斑位置为,宽度为; 在定位过程中,选取至少2个点进行定位,对于选取的k个光谱暗斑位置,记为,在这些光谱暗斑位置采集到的信号光子数分别为,总光子数为N; 这些位置上暗斑光谱分布记为: ,i=0,1,2……k-1; 定义每个位置的分布系数为: ,i=0,1,2……k-1; 则根据每个位置的分布系数计算得到定位分布的概率函数: 通过最大似然估计法取得分布概率最高的光谱位置: 该式在取两个点的时候会有两个解,时才有唯一解; 对应的定位精度为: S4、根据中心波长来确定被测物体表面的高度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江大学;武汉精测电子集团股份有限公司,其通讯地址为:310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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