财团法人工业技术研究院李仁杰获国家专利权
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龙图腾网获悉财团法人工业技术研究院申请的专利具有多重振动部的微机电装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116419136B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210099529.8,技术领域涉及:H04R19/02;该发明授权具有多重振动部的微机电装置是由李仁杰;黄肇达;苏中源;高瑞鸿设计研发完成,并于2022-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有多重振动部的微机电装置在说明书摘要公布了:本发明公开一种具有多重振动部的微机电装置,其包含基座及薄膜。薄膜包含固定部、外围部、中央部、第一弹性部及第二弹性部。固定部设置于基座上。外围部环绕中央部。第一弹性部包含第一电极且第二弹性部包含第二电极。第一弹性部连接固定部及外围部。第二弹性部连接外围部及中央部。当低频电性驱动信号输入至第一电极时,外围部及中央部分别沿与基座的法向量平行的轴向产生第一低频振幅及第二低频振幅。当高频电性驱动信号输入至第二电极时,外围部及中央部分别沿轴向产生第一高频振幅及第二高频振幅。第一低频振幅与第二低频振幅的差距小于第一高频振幅与第二高频振幅的差距。
本发明授权具有多重振动部的微机电装置在权利要求书中公布了:1.一种具有多重振动部的微机电装置,其包括: 基座;以及 薄膜,包括: 固定部,设置于该基座上; 外围部; 中央部,该外围部环绕该中央部; 至少一第一弹性部,包括至少一第一电极;以及 至少一第二弹性部,包括至少一第二电极; 其中该至少一第一弹性部连接该固定部及该外围部,该至少一第二弹性部连接该外围部及该中央部; 其中当低频电性驱动信号输入至该至少一第一电极时,该外围部沿轴向产生第一低频振幅且该中央部沿该轴向产生第二低频振幅,该轴向与该基座的法向量平行; 其中当高频电性驱动信号输入至该至少一第二电极时,该外围部沿该轴向产生第一高频振幅且该中央部沿该轴向产生第二高频振幅; 其中该第一低频振幅与该第二低频振幅的差距小于该第一高频振幅与该第二高频振幅的差距。
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