广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院吴敏铭获国家专利权
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龙图腾网获悉广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院申请的专利光刻胶、光刻胶固化膜和光刻胶的图案化方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116520640B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310698182.3,技术领域涉及:G03F7/075;该发明授权光刻胶、光刻胶固化膜和光刻胶的图案化方法是由吴敏铭;谢熙;郑爽;王蒙娜设计研发完成,并于2023-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻胶、光刻胶固化膜和光刻胶的图案化方法在说明书摘要公布了:本申请涉及功能高分子材料技术领域,提供一种光刻胶、光刻胶固化膜和光刻胶的图案化方法。所述光刻胶包含聚酰胺酸‑聚酰胺酯树脂、碱性催化剂、交联剂、偶联剂、光阻剂和第一有机溶剂,所述光刻胶能在较低温度下同时实现其中聚酰亚胺树脂的酰亚胺化和固化,且经固化形成的所述光刻胶固化膜耐翘曲并具有较高的机械强度。
本发明授权光刻胶、光刻胶固化膜和光刻胶的图案化方法在权利要求书中公布了:1.一种光刻胶,其特征在于,包含聚酰胺酸-聚酰胺酯树脂、碱性催化剂、交联剂、偶联剂、光阻剂和第一有机溶剂,其中,所述聚酰胺酸-聚酰胺酯树脂具有式1所示的结构: 式1 式1中,n≥10; M包括式A所示结构单元1中的至少一种和任选的式B所示的结构单元2中的至少一种: 式A 式B “”表示连接键, X1和X2相同或不同,且各自独立地为含脂环族基团和或芳香族基团的基团; Y1和Y2相同或不同,且各自独立地为含脂肪族基团和或芳香族基团的基团; p为不小于1的整数; 各R相同或不同,且各自独立地为氢或碳原子数为1~4的烷基; 所述聚酰胺酸-聚酰胺酯树脂的重均分子量为5000~100000; 并且,所述聚酰胺酸-聚酰胺酯树脂由包括以下步骤的方法制备得到: 在第二有机溶剂存在下,使四羧酸酐和二胺单体进行缩聚反应,得到树脂前体;使所述树脂前体与酯化试剂进行反应;所述四羧酸酐选自4,4’-联苯醚二酐和均苯四甲酸二酐中的一种或两种;所述二胺单体包括二胺单体I和二胺单体II;所述二胺单体I选自2,2-双3-氨基-4-羟基苯基六氟丙烷、2,2-双4-羟基-3-氨基苯基丙烷和3,3’-二羟基联苯胺中的一种或两种以上;所述二胺单体II选自4,4’-二氨基二苯醚和或2,2’-双三氟甲基-4,4’-二氨基联苯; 所述交联剂为双酚A环氧二丙烯酸酯和双季戊四醇六丙烯酸酯的混合物; 所述碱性催化剂为DBU盐潜伏型催化剂和或DBN盐潜伏型催化剂。
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