北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司高颖获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种波导测试结构、波导测试晶圆及波导测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116539275B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310449649.0,技术领域涉及:G01M11/00;该发明授权一种波导测试结构、波导测试晶圆及波导测试方法是由高颖;李明山;生俊扬设计研发完成,并于2023-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种波导测试结构、波导测试晶圆及波导测试方法在说明书摘要公布了:本申请提供一种波导测试结构、波导测试晶圆及波导测试方法,所述测试结构包括:至少两个波导结构,每个波导结构包括若干呈弧形的弯曲波导以及若干呈直线的直波导,所述若干直波导位于相邻的弯曲波导之间并连接所述若干弯曲波导;所述若干弯曲波导的形状相同,不同波导结构中的弯曲波导数量各不相同。本申请提供一种波导测试结构及测试方法,测试结构中同时具有弯曲波导和直波导,能够代表实际应用中的波导结构,因而能够准确测试光通过单个弯曲波导的损耗。
本发明授权一种波导测试结构、波导测试晶圆及波导测试方法在权利要求书中公布了:1.一种波导测试结构,用于测试光通过弯曲波导时产生的损耗,其特征在于,包括: 至少两个波导结构,每个波导结构包括若干呈弧形的弯曲波导以及若干呈直线的直波导,所述若干直波导位于相邻的弯曲波导之间并连接所述若干弯曲波导,所述直波导与所述弯曲波导交替设置使得相邻的弯曲波导不直接相连; 所述若干弯曲波导的形状相同,不同波导结构中的弯曲波导数量各不相同,不同波导结构中的直波导的总长度相同。
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