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龙图腾网获悉清华大学申请的专利纳米材料的超分辨缺陷探测系统、缺陷识别方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116609303B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310382759.X，技术领域涉及：G01N21/64；该发明授权纳米材料的超分辨缺陷探测系统、缺陷识别方法及装置是由孙洪波;黄嘉泰;白本锋设计研发完成，并于2023-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本纳米材料的超分辨缺陷探测系统、缺陷识别方法及装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种纳米材料的超分辨缺陷探测系统、缺陷识别方法及装置，其中，系统包括：激发模块，用于调控激发激光，生成探测目标的荧光信号；探针模块，用于过滤低空间频率荧光信号得到探测目标的超分辨荧光信号，并在处于接触模式时，获得探测目标的形貌信息；扫描与荧光收集模块，用于获得探测目标至少一个区域的每个点的超分辨荧光信号，得到探测目标的超分辨荧光光谱信息分布，以利用形貌信息和超分辨荧光光谱信息对探测目标进行缺陷分析。由此，解决了相关技术中，探测分辨率受限于光学衍射极限，无法实现纳米尺度缺陷探测与识别的技术问题。

本发明授权纳米材料的超分辨缺陷探测系统、缺陷识别方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种纳米材料的超分辨缺陷探测系统，其特征在于，包括： 激发模块，用于调控激发激光，以控制所述激发激光聚焦于纳米材料探测目标的表面，生成所述探测目标的荧光信号； 探针模块，用于过滤所述荧光信号中的低空间频率分量得到所述探测目标的超分辨荧光信号，并在所述探针模块处于接触模式时，获得所述探测目标的形貌信息； 扫描与荧光收集模块，用于控制所述探测目标进行移动并扫描，以获得所述探测目标至少一个区域的每个点的超分辨荧光信号，得到所述探测目标的超分辨荧光光谱信息，以利用所述形貌信息和所述超分辨荧光光谱信息对所述探测目标进行缺陷分析； 其中，所述激发模块包括：激光器和依次设置在所述激光器输出激光的传输光路上的起偏器、二分之一波片、扩束准直器、第一预设的孔径物镜，以对所述激发激光进行调控； 所述探针模块包括：探针，所述探针的底部镀有铝膜并设置有通孔；探针反馈控制单元，用于对准所述探针和所述激发激光，并控制所述探针在扫描过程中处于所述接触模式，以获得所述探测目标的形貌信息； 所述扫描与荧光收集模块包括：三维压电扫描台，用于放置所述探测目标，以对所述探测目标进行纳米精度扫描；第二预设的孔径物镜，用于收集所述探测目标的超分辨荧光信号；滤光片，用于过滤所述激发激光；光谱仪，用于将所述探测目标的超分辨荧光光谱信息转化为数字信息。

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