北京烁科中科信电子装备有限公司易镓获国家专利权
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龙图腾网获悉北京烁科中科信电子装备有限公司申请的专利一种用于圆筒形样品的安装夹具及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116619268B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310587001.X，技术领域涉及：B25B11/00；该发明授权一种用于圆筒形样品的安装夹具及其使用方法是由易镓;唐睿设计研发完成，并于2023-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于圆筒形样品的安装夹具及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于圆筒形样品的安装夹具及其使用方法，夹具包括内孔夹具和外圆夹具，内孔夹具包括底座和支撑夹持组件，支撑夹持组件设置在底座上，用于夹持样品的内周；外圆夹具包括安装座，安装座上设有移动限位组件和多个支座，支座用于辅助移动限位组件对样品的外周进行夹持。本发明具有结构紧凑、装夹稳定可靠、有利于缩小靶台倾角范围且注入区域与夹具互不干涉等优点，解决了因圆筒形样品的直径范围大而需要多种传统套筒类夹具造成的混乱、冗余等问题，并解决了夹具设计、配合不合理而导致靶台偏置角度过大、注入区与夹具相互干涉、样品外周容易被碰伤等问题，提高了该工艺成品的质量或者良率，降低了半导体注入设备的运行成本。
本发明授权一种用于圆筒形样品的安装夹具及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种用于圆筒形样品的安装夹具，其特征在于，包括内孔夹具1和外圆夹具2，内孔夹具1和外圆夹具2均与靶台的接口可拆卸安装；所述内孔夹具1包括底座11和支撑夹持组件，所述支撑夹持组件设置在底座11上，用于夹持圆筒形样品的内周；所述外圆夹具2包括安装座21，所述安装座21上设有移动限位组件和多个支座23，所述支座23用于辅助移动限位组件对圆筒形样品的外周进行夹持； 所述支撑夹持组件包括丝杆13、压环14和导电圈15，所述丝杆13底部固定安装在底座11上，丝杆13外周依次交替设有压环14和导电圈15，所述压环14用于压缩导电圈15，圆筒形样品的内周与导电圈15接触，导电圈15用于实现圆筒形样品接地，并受力膨胀张紧圆筒形样品的内周。
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