浙江凯圣氟化学有限公司吴义鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江凯圣氟化学有限公司申请的专利一种高效无羟胺剥离清洗组合液获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116627005B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310521130.9，技术领域涉及：G03F7/42；该发明授权一种高效无羟胺剥离清洗组合液是由吴义鹏;石加明;陈刚;李军;何永根;刘艳;黄凯飞;何江;羊惊涛;汪右前;侯佳磊设计研发完成，并于2023-05-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高效无羟胺剥离清洗组合液在说明书摘要公布了：本发明涉及清洗组合液领域，具体关于一种高效无羟胺剥离清洗组合液；原料包括下列质量分数的组分：10‑60％的水、10‑50％的水溶性有机溶剂例如，10％‑45％、0.1‑20％的胺化合物例如，0.5％‑10％和1‑30％的羟胺替代物例如，2％‑20％和少量缓蚀剂，各组分质量分数之和为100％。本方法提供的清洗剂稳定性好，能防止Al金属在清洗过程中的腐蚀，对后期应用于器件互连的导电效果的负面影响小，安全性好。
本发明授权一种高效无羟胺剥离清洗组合液在权利要求书中公布了：1.一种高效无羟胺剥离清洗组合液，其由下述原料制得，所述的原料由下列质量分数的组分组成：10-60%的水、10-50%的水溶性有机溶剂、0.1-20%的胺化合物、1-30%的羟胺替代物和少量缓蚀剂，各组分质量分数之和为100%； 所述羟胺替代物选自水合肼，苯肼，硫酰肼，乙二酸二酰肼，奥肼，异烟肼，乙醛肟，丙酮肟，羟基脲中的一种或多种； 所述的缓蚀剂为抗静电缓蚀剂； 所述的抗静电缓蚀剂按照以下方法制备： S1：按照质量份数，将0.05-0.6份的1-胺丙基-3-甲基咪唑溴盐，20-30份的烯丙基环氧聚醚，2-6份的二乙醇胺，300-420份甲苯加入到高压反应釜中，搅拌反应30-60分钟； S2：再加入17-23份的2,5-二巯基对苯二酚，再加入0.4-1份过氧化苯甲酰，搅拌反应2-5h减压蒸馏除去甲苯，即可得到所述的抗静电缓蚀剂； 所述抗静电缓蚀剂制备过程中反应温度为60-80℃。
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