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龙图腾网获悉江苏影速集成电路装备股份有限公司申请的专利一种DMD数字光刻曝光系统及其装调检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116643463B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310573144.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种DMD数字光刻曝光系统及其装调检测方法是由王寅;李世光;曾海峰;戢逸云设计研发完成，并于2023-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种DMD数字光刻曝光系统及其装调检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种DMD数字光刻曝光系统及其装调检测方法，该系统包括依次设置的光源、照明系统、DMD、投影系统、后置透镜和数码相机，数码相机安装在后置透镜的后焦面；光源发出的光经照明系统匀光准直整形照射物面DMD，DMD与像面共轭成像，DMD的图形经投影系统成像在像面。本发明通过观察频谱面能量分布、形状和大小来检查曝光系统装调优劣，通过曝光系统数值孔径以及焦距合理选择后置透镜通光孔径和焦距，曝光系统频谱面成像到后置透镜焦面并通过数码相机观察；曝光系统焦距未知只能观察频谱面部分图形时，通过移动数码相机对图形进行拼接，结构简单，设计便利，频谱面更多地体现曝光细节，更能表现曝光系统装调过程照明系统和投影系统匹配问题。

本发明授权一种DMD数字光刻曝光系统及其装调检测方法在权利要求书中公布了：1.一种DMD数字光刻曝光系统装调检测方法，其特征在于，应用了一种DMD数字光刻曝光系统，所述DMD数字光刻曝光系统包括依次设置的光源、照明系统、DMD、投影系统、后置透镜和数码相机，所述数码相机安装在所述后置透镜的后焦面且能够在后焦面上移动；所述光源发出的光经过所述照明系统匀光准直整形照射物面DMD，DMD与像面共轭成像，DMD的图形经所述投影系统成像在像面，所述后置透镜设置在像面后； 所述DMD数字光刻曝光系统装调检测方法包括以下步骤： 第一步：将照明系统与投影系统通过最初设计的机械定位进行安装，再根据4F光学原理安装后置透镜的位置，并在后置透镜后焦面安装数码相机； 第二步：数码相机记录曝光系统的频谱图像，分别记录频谱尺寸大小，频谱清晰程度，通过数码的灰度提取频谱的能量分布； 第三步：后置透镜与投影系统配合，在解决照明系统与投影系统匹配问题的时候，投影系统不变，改变照明系统的照明方式、位置；观察频谱图像是否基于光阑中心旋转对称，这说明照明系统的光轴与投影系统的光轴是否匹配，若不是，调节照明系统或DMD的倾角； 第四步：若频谱模糊，说明照明系统与投影系统在光传播方向上的距离不合适，改变照明系统与DMD的前后距离，观察频谱的清晰度； 第五步：通过数码相机对频谱进行灰度提取，要求频谱处光强能量关于光阑中心旋转对称；若灰度不关于中心对称，检查照明系统的内部和镜片上面洁净度以及调节光源、DMD的倾角； 第六步：重复上述第二步到第五步，直到频谱图像清晰且关于光阑中心旋转对称，调节结束。

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