北京航空航天大学李伟获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利一种基于金刚石膜的高性能VCSEL半导体激光器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116742467B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310729897.0，技术领域涉及：H01S5/024；该发明授权一种基于金刚石膜的高性能VCSEL半导体激光器是由李伟;张舒怡;刘进容;杨慧昕;魏震国;屈少涛;李婉晴;全伟;房建成设计研发完成，并于2023-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于金刚石膜的高性能VCSEL半导体激光器在说明书摘要公布了：本发明设计半导体激光技术领域，涉及一种基于金刚石膜的高性能VCSEL半导体激光器。目的在于解决VCSEL工作温度较低600、线宽较宽、光束质量较差的问题。主要方案包括至下而上依次设置的衬底101、散热层102、第一电极103、第一DBR反射层104、第一氧化限制层105、有源层106、第二氧化限制层107、第二DBR反射层108、绝缘散热层109，绝缘散热层109上设置有与第二DBR反射层108连接的第二电极110，第二电极上覆盖有隔热层。
本发明授权一种基于金刚石膜的高性能VCSEL半导体激光器在权利要求书中公布了：1.一种基于金刚石膜的高性能VCSEL半导体激光器，其特征在于，包括至下而上依次设置的衬底101、散热层102、第一电极103、第一DBR反射层104、第一氧化限制层105、有源层106、第二氧化限制层107、第二DBR反射层108、绝缘散热层109，绝缘散热层109上设置有与第二DBR反射层108连接的第二电极110，第二电极上覆盖有隔热层； 绝缘散热层109为金刚石和氧化物制备的复合膜； 隔热层为蓝宝石玻璃； 散热层102是在衬底上使用化学气相沉积法沉积金刚石膜形成。
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