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龙图腾网获悉宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请的专利真空泵前置除尘装置及单晶炉获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116764337B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310772064.2，技术领域涉及：B01D45/14；该发明授权真空泵前置除尘装置及单晶炉是由马旭武;马玉怀;芮阳;徐慶晧;曹启刚;王黎光;张昆;王忠保;赵泽慧设计研发完成，并于2023-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本真空泵前置除尘装置及单晶炉在说明书摘要公布了：一种真空泵前置除尘装置，包括分离仓、引流分离机构；分离仓为内部中空且内径从上至下逐渐增大的筒体，分离仓的内壁上设有集尘板，分离仓的上端设有盖板，分离仓的顶部设有与分离仓内部连通的第一管道，分离仓的下端设有集尘室，在集尘室的底部设有与分离仓内部连通的第二管道，集尘室的底部还设有与分离仓连通的第三管道；引流分离机构沿分离仓的轴线纵向可转动的设置于分离仓的内部，引流分离机构的下端正对第二管道的出口端。本发明可实现分离仓的自动清洁、以及化合物颗粒的自动回收；在此过程中，无需人工再对分离仓进行清理，不仅清理程序简单，而且降低劳动强度、提高了工作效率。本发明还提供了一种单晶炉。

本发明授权真空泵前置除尘装置及单晶炉在权利要求书中公布了：1.一种真空泵前置除尘装置，其特征在于：包括分离仓、引流分离机构； 所述分离仓为内部中空且内径从上至下逐渐增大的筒体，分离仓的内壁上设有集尘板，分离仓的上端设有盖板，分离仓的顶部设有与分离仓内部连通的第一管道，分离仓的下端设有集尘室，在集尘室的底部设有与分离仓内部连通的第二管道，所述第二管道的出口端设有进气口，集尘室的底部还设有与分离仓连通的第三管道； 所述集尘板呈螺旋状设置，所述集尘板呈弧形结构，并且集尘板的弧形凹陷面朝向分离仓的底部，所述集尘板朝向分离仓轴线的一侧向下弯曲； 所述引流分离机构沿分离仓的轴线纵向可转动的设置于分离仓的内部，引流分离机构的下端正对第二管道的出口端； 所述引流分离机构包括驱动部、旋转杆、以及设置于旋转杆上的引流板；所述旋转杆沿分离仓的轴线纵向设置于分离仓的内部，旋转杆的上端延伸至分离仓的外部，并且与分离仓转动连接，所述驱动部的输出端与旋转杆相连接； 所述引流板沿旋转杆的轴线方向呈螺旋状设置； 所述引流板的螺距从下至上逐渐增大。

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