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新特硅基新材料有限公司;新特能源股份有限公司吴雪佼获国家专利权

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龙图腾网获悉新特硅基新材料有限公司;新特能源股份有限公司申请的专利一种多晶硅生产控制方法、装置、服务器及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116768215B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310741553.1,技术领域涉及:C01B33/021;该发明授权一种多晶硅生产控制方法、装置、服务器及存储介质是由吴雪佼;呼维军;陈国辉;杨文文;李军;杨宝辉;宋永刚;蒋建武设计研发完成,并于2023-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种多晶硅生产控制方法、装置、服务器及存储介质在说明书摘要公布了:本申请提供了一种多晶硅生产控制方法、装置、服务器及存储介质,应用于设备健康管理,其中,方法包括:对关于多晶硅设备及其上下游工艺的历史参数样本进行动态主成分分析,得到动态主成分分析模型,包括动态主成分分析方程以及各主成分参数的霍特林统计量检验值和SPE检验值;根据参数波动最小时的公共时间段内各主成分参数对应的平均值以及动态主成分分析方程,得到多晶硅设备与其上下游工艺耦合的历史耦合模型;且根据动态主成分分析模型,得到基于多元线性回归的第一耦合模型以及基于主成分分析和多元线性回归的第二耦合模型;根据通过有效性校验后的目标耦合模型,对多晶硅设备的设备参数和或多晶硅设备的上下游工艺的工艺参数进行控制。

本发明授权一种多晶硅生产控制方法、装置、服务器及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种多晶硅生产控制方法,其特征在于,包括: 对历史参数样本进行动态主成分分析,得到动态主成分分析模型,所述动态主成分分析模型包括动态主成分方程以及所述动态主成分方程中各主成分参数的霍特林统计量检验值和平方预测误差SPE检验值,所述历史参数样本中的参数包括:多晶硅设备的设备参数及其上下游工艺的工艺参数; 根据所述主成分参数的样本时序图,获取目标时间段内各所述主成分参数对应的平均值,其中,所述目标时间段为各所述主成分参数对应的参数波动最小时的公共时间段; 根据所述目标时间段内各所述主成分参数对应的平均值以及所述动态主成分方程,得到所述多晶硅设备与其上下游工艺耦合的历史耦合模型; 根据所述动态主成分分析模型,得到基于多元线性回归的第一耦合模型以及基于主成分分析和多元线性回归的第二耦合模型; 对所述历史耦合模型、所述第一耦合模型以及所述第二耦合模型进行有效性校验,获取校验通过的目标耦合模型; 根据所述目标耦合模型,对所述多晶硅设备的设备参数和或所述多晶硅设备的上下游工艺的工艺参数进行控制。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人新特硅基新材料有限公司;新特能源股份有限公司,其通讯地址为:831509 新疆维吾尔自治区昌吉回族自治州准东经济技术开发区西黑山产业园华一路19号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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