深圳市先地图像科技有限公司陈乃奇获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市先地图像科技有限公司申请的专利一种旋转曝光成像控制方法、装置及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116991040B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210437930.8,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种旋转曝光成像控制方法、装置及存储介质是由陈乃奇;陈钢;金满军设计研发完成,并于2022-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转曝光成像控制方法、装置及存储介质在说明书摘要公布了:本发明实施例提供了一种旋转曝光成像控制方法、装置及存储介质,用于提高制版精度,保障曝光成像的一致性。本发明实施例方法包括:获取加工件上像素曝光点的位置分布信息;在旋转过程中进行旋转曝光操作,旋转曝光操作包括:获取出射光阵列在加工件上可照射的实时位置,根据不同位置的出射光的相对旋转线速度调节出射光的功率,其中,相对旋转线速度越大,出射光功率越高;当可照射的实时位置与加工件上像素曝光点的位置一致时,控制出射光对像素曝光点的位置处的光敏或热敏涂层进行曝光;每旋转至少一周之后,将出射光沿径向直线方向移动预设距离之后重复旋转曝光操作直到对所有像素曝光点完成曝光。
本发明授权一种旋转曝光成像控制方法、装置及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种旋转曝光成像控制方法,其特征在于,应用于旋转曝光成像设备,所述旋转曝光成像设备的出射光阵列可绕与曝光面垂直的旋转轴进行相对旋转,并在所述曝光面上形成圆环形扫描区域内选择性曝光像素点;所述旋转曝光成像控制方法包括: 获取加工件上像素曝光点的位置分布信息; 在旋转过程中进行旋转曝光操作,所述旋转曝光操作包括:获取出射光阵列在所述加工件上可照射的实时位置,根据不同位置的出射光的相对旋转线速度调节出射光的功率,其中,相对旋转线速度越大,出射光功率越高;当可照射的实时位置与加工件上像素曝光点的位置一致时,控制出射光对像素曝光点的位置处的光敏或热敏涂层进行曝光; 每旋转至少一周之后,将出射光沿径向直线方向移动预设距离之后重复所述旋转曝光操作直到对所有像素曝光点完成曝光,所述径向直线方向是指所述曝光面上经过所述旋转轴垂直投影点的直线方向。
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