北京北方华创微电子装备有限公司郭恢斌获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利雾化器、汽化器、半导体工艺设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117019432B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310849190.3，技术领域涉及：B05B7/06；该发明授权雾化器、汽化器、半导体工艺设备及方法是由郭恢斌;姚晶;孙妍;郭雷;白通;吴艳华;刘科学设计研发完成，并于2023-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本雾化器、汽化器、半导体工艺设备及方法在说明书摘要公布了：本发明实施例涉及半导体技术领域，尤其涉及一种雾化器、汽化器、半导体工艺设备及方法。该雾化器包括喷嘴和载气室，载气室用于提供载气，喷嘴用于提供喷洒液体；喷嘴的出液口靠近且连通于雾化器的雾化出口；载气室的出气口靠近且连通于雾化出口，载气室内出气口的气流截面积最小；雾化出口的气流截面积范围为：0.000000045m2～0.0000001m2。该汽化器包括雾化器，该半导体工艺设备包括汽化器；本发明实施例所提供的雾化器、汽化器、半导体工艺设备及方法，在尽量避免膜层表面孔洞缺陷的前提下，基本实现固化。
本发明授权雾化器、汽化器、半导体工艺设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种雾化器，其特征在于，包括喷嘴120和载气室110，所述载气室110用于提供载气，所述喷嘴120用于提供喷洒液体； 所述喷嘴120的出液口靠近且连通于所述雾化器100的雾化出口130； 所述载气室110的出气口111靠近且连通于所述雾化出口130，所述载气室110内所述出气口111的气流截面积最小； 所述雾化出口130的气流截面积范围为：0.000000045m2～0.0000001m2； 所述喷嘴120具有连通于所述出液口的安装孔121，所述安装孔121内固设有毛细管150，所述毛细管150的内孔径大于喷嘴120的内孔径。
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