应用材料公司T·H·F·李获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利化学机械抛光浆料堆积监测获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117120215B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280024642.8，技术领域涉及：B24B49/12；该发明授权化学机械抛光浆料堆积监测是由T·H·F·李设计研发完成，并于2022-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学机械抛光浆料堆积监测在说明书摘要公布了：公开了一种用于监测浆料堆积的装置和方法。一种基板抛光装置包括：至少部分地涂覆有荧光材料的表面、被配置为照亮所述表面的光源、被配置为对所述表面进行成像的图像传感器，以及耦合至图像传感器并被配置为使用从图像传感器供应的数据监测所述表面上的浆料堆积的处理器。
本发明授权化学机械抛光浆料堆积监测在权利要求书中公布了：1.一种基板抛光装置，包括： 表面，所述表面至少部分地涂覆有荧光材料； 光源，所述光源被配置为照亮所述表面； 图像传感器，所述图像传感器被配置为对所述表面进行成像；以及 处理器，所述处理器耦合到所述图像传感器并被配置为使用从所述图像传感器供应的数据来监测所述表面上的所述荧光材料上的浆料堆积。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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