长鑫存储技术有限公司丁健忠获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利基板处理装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117329786B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210737734.2，技术领域涉及：F26B5/00；该发明授权基板处理装置和方法是由丁健忠;郗宁;汪霖;王恒;郭亚东设计研发完成，并于2022-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置和方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种基板处理装置和方法。基板处理方法包括将干燥剂喷涂于基板上，用干燥剂替换基板中的水；冷却基板，使得干燥剂的溶质会因温度的降低而析出固化在基板的深腔底部；吹扫气体吹向基板，使得干燥剂的溶剂从深腔内部向外挥发出去；当深腔内部的溶剂完全向外挥发出去，并剩下的为固体状态的溶质时，对基板加热处理，将基板的温度加热到大于溶质的升华点，使溶质升华向外排出。干燥剂将基板中的水替换后，使干燥剂固液分离，并先将溶剂向外挥发出去，再将溶质通过升华的方式挥发出去，从而便不存在传统技术中的干燥阶段中的较大毛细管力而导致的图案倒塌现象，此外由于无需采用昂贵的表面张力小的化学药液，使得成本较低。
本发明授权基板处理装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，其特征在于，所述基板处理方法包括： 将干燥剂喷涂于基板上，用所述干燥剂替换所述基板中的水，其中，所述干燥剂为包括易升华物质与易挥发有机溶剂的混合液； 冷却所述基板，使得所述基板的深腔内的所述干燥剂固液分离，所述干燥剂的溶质会因温度的降低而析出固化在所述基板的深腔底部，所述干燥剂的溶剂位于所述干燥剂的溶质上方，在所述冷却基板步骤中，将所述基板的温度控制在第三预设范围，所述第三预设范围小于所述干燥剂的溶质的结晶温度，所述第三预设范围选取为-25℃~25℃； 提供吹扫气体，吹扫气体吹向所述基板，使得所述干燥剂的溶剂从所述深腔内部向外挥发出去； 升华处理，当所述深腔内部的溶剂完全向外挥发出去后，对所述基板加热处理，将所述基板的温度加热到大于所述溶质的升华点，使所述溶质升华向外排出。
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