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龙图腾网获悉中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司申请的专利一种导套内置型高温束源炉束流控制结构及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117778961B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410017225.1，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权一种导套内置型高温束源炉束流控制结构及其控制方法是由张学锋;毕永生;赵崇凌;黄成;张学全;刘宗炜;邱伟;雷震霖;王启佳;佟雷设计研发完成，并于2024-01-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种导套内置型高温束源炉束流控制结构及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明属于MBE分子束外延设备领域，具体地说是一种导套内置型高温束源炉束流控制结构及其控制方法，高温束源炉束流控制结构包括控制叉、坩埚塞支撑套、源炉腔体、源炉坩埚、坩埚塞、高温加热区组件及发射喷口；源炉坩埚本体固定在源炉腔体内部，其脖颈出口位置存在受控制、可移动的坩埚塞；不同于现有结构，本发明采用固定源炉坩埚的本体，控制位于高温加热区组件内的坩埚塞支撑套移动坩埚塞的形式实现控制与调节高温束源炉工作时的束流大小及开闭，彻底避免现有结构移动带料大容量坩埚500cc以上有发生破损的风险，在有效提高源炉束流的稳定与可调节性的同时，降低对驱动结构动力的要求。

本发明授权一种导套内置型高温束源炉束流控制结构及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种导套内置型高温束源炉束流控制结构，其特征在于：包括坩埚塞支撑套2、源炉坩埚4、坩埚塞5、高温加热区组件6及发射喷口7，其中源炉坩埚4的一端为储存原料的本体，所述本体固定在源炉腔体3内，所述源炉坩埚4的另一端为长颈段14；所述高温加热区组件6安装于源炉腔体3上，所述发射喷口7固定在高温加热区组件6的一端内部，所述长颈段14由源炉腔体3穿出、并由所述高温加热区组件6的另一端伸入至高温加热区组件6内部，所述长颈段14的外围套设有坩埚塞支撑套2，所述坩埚塞支撑套2的一端与动力源相连，通过所述动力源驱动沿轴向移动，所述坩埚塞支撑套2的另一端由高温加热区组件6的另一端伸入至高温加热区组件6内部；所述坩埚塞5位于高温加热区组件6的内部，所述坩埚塞5的一端插设于长颈段14内部，并卡在所述长颈段14出口位置设置的脖颈12处，所述坩埚塞5的另一端与坩埚塞支撑套2的另一端相连，随所述坩埚塞支撑套2在动力源的驱动下沿轴向移动，进而控制束流的大小及开闭；所述脖颈12上方的坩埚塞5上开设有供束流经过的通孔11，束流最终通过所述发射喷口7喷出； 所述坩埚塞5的一端为上宽下窄的锥台状，用于与所述脖颈12卡接，所述坩埚塞5的另一端设有用于与坩埚塞支撑套2另一端卡接的凸起15。

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