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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利上电极装置及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119230366B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310790390.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权上电极装置及半导体工艺设备是由郭春;徐珂浩;郭子煜;马恩泽设计研发完成，并于2023-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本上电极装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种上电极装置及半导体工艺设备，上电极装置包括：进气结构，贯穿腔室盖板设置，并与腔室盖板活动密封连接，用于向工艺腔内通入工艺气体；第一调节机构，包括至少一个第一位移导向组件，第一位移导向组件与进气结构的位于腔室本体外的一端连接，用于在进气结构沿第一水平方向移动时对进气结构进行导向；第二调节机构，包括至少一个第二位移导向组件，第二位移导向组件与进气结构的位于腔室本体外的一端连接，用于在进气结构沿第二水平方向移动时对进气结构进行导向，其中，第一水平方向与第二水平方向相交。本发明可提高上电极进气结构与晶圆之间同轴度调节的可控性和便利性。

本发明授权上电极装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种上电极装置，应用于半导体工艺设备的工艺腔室，其中，所述工艺腔室包括腔室本体和盖设于所述腔室本体上的腔室盖板，其特征在于，所述上电极装置包括： 进气结构，贯穿所述腔室盖板设置，并与所述腔室盖板活动密封连接，用于向所述工艺腔内通入工艺气体； 第一调节机构，包括至少一个第一位移导向组件，所述第一位移导向组件与所述进气结构的位于所述腔室本体外的一端连接，用于在所述进气结构沿第一水平方向移动时对所述进气结构进行导向； 第二调节机构，包括至少一个第二位移导向组件，所述第二位移导向组件与所述进气结构的位于所述腔室本体外的一端连接，用于在所述进气结构沿第二水平方向移动时对所述进气结构进行导向，其中，所述第一水平方向与所述第二水平方向相交； 移动支架，所述移动支架设置于所述腔室盖板的上方，所述进气结构设置于所述移动支架上； 所述第一位移导向组件和所述第二位移导向组件为结构相同的导向组件； 所述导向组件包括固定件和连接件，所述进气结构包括导向结构，所述固定件设置于所述移动支架，所述连接件的一端与所述固定件滑动连接，另一端与所述导向结构导向配合； 所述固定件包括滑动轴承座，所述连接件包括滑动轴和导向座； 所述滑动轴承座固定于所述移动支架，所述滑动轴穿设于所述滑动轴承座内并与所述滑动轴承座可滑动连接； 所述导向座的一端与所述滑动轴固定连接，所述导向座的另一端与所述导向结构导向配合； 所述导向组件还包括调节顶丝，所述滑动轴承座的顶端设有第一螺纹孔，所述调节顶丝能够与所述第一螺纹孔配合，以锁紧所述滑动轴； 所述进气结构包括垫板，所述垫板设置于所述移动支架上并与所述移动支架可拆卸连接； 所述导向结构包括所述垫板的侧面开设的盲孔以及设于所述盲孔内的导向轴套，所述导向座的另一端插设于所述导向轴套内。

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