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龙图腾网获悉广州三义激光科技有限公司申请的专利一种大尺寸晶圆广域激光抛光装置及抛光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119820081B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510043770.2，技术领域涉及：B23K26/064；该发明授权一种大尺寸晶圆广域激光抛光装置及抛光方法是由陈聪;李贵林;欧阳紫晴;董青林设计研发完成，并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种大尺寸晶圆广域激光抛光装置及抛光方法在说明书摘要公布了：一种大尺寸晶圆广域激光抛光装置及抛光方法，包括激光器、准直镜、中间反射镜、半透半反镜、聚焦镜、CCD自动调焦系统、末端反射镜、喷气器和加工运动平台，准直镜竖直设置，中间反射镜和半透半反镜相互平行并与水平面呈45度角，末端反射镜用于接收并反射来自于聚焦镜的激光束，使激光束斜入射至待加工表面上，CCD自动调焦系统用于动态调整末端反射镜的角度，调整激光束的焦点位置，确保激光束始终准确地聚焦在待加工位置处；喷气器用于在加工过程中提供辅助气体以及吹走抛光时产生的熔渣和氧化物。本发明突破了传统聚焦镜工作距离短和振镜焦深大的双重限制，解决了加工精度和加工尺寸不能两全的问题，提高了加工质量。

本发明授权一种大尺寸晶圆广域激光抛光装置及抛光方法在权利要求书中公布了：1.一种大尺寸晶圆广域激光抛光装置，其特征在于，包括安装架、激光器、准直镜、中间反射镜、半透半反镜、聚焦镜、CCD自动调焦系统、末端反射镜、喷气器、第一Z轴移动模组和加工运动平台，所述激光器、准直镜、中间反射镜、半透半反镜、聚焦镜、CCD自动调焦系统、末端反射镜和喷气器均设置在所述安装架上，所述安装架设置在所述第一Z轴移动模组上；所述激光器用于产生竖直向下的激光束，所述准直镜、中间反射镜、半透半反镜、聚焦镜和末端反射镜沿激光光路依次设置，所述准直镜水平设置，用于将激光器产生的原始激光束整形为竖直的平行激光束，所述中间反射镜和半透半反镜相互平行并与水平面呈45度角，竖直激光束经中间反射镜和半透半反镜依次反射后到达所述聚焦镜，所述聚焦镜水平设置，用于将来自于半透半反镜的竖直激光束进行聚焦，所述末端反射镜倾斜设置，用于接收来自于聚焦镜的激光束，并反射激光束，使激光束斜入射至晶圆待加工区域表面； 所述CCD自动调焦系统包括视觉传感器，所述视觉传感器用于通过高分辨率成像技术捕获晶圆上待加工区域的图像，视觉传感器包括LED光源，所述LED光源设置在半透半反镜的正上方，所述半透半反镜反射激光束的同时允许LED光源的光透射，并最终到达待加工晶圆表面上，为视觉传感器的拍摄提供照明条件，CCD自动调焦系统与聚焦镜、末端反射镜相连，用于根据捕获的晶圆上待加工区域的图像信息动态调节末端反射镜的角度、以及末端反射镜与聚焦镜之间的距离，以调整激光束的焦点位置，确保激光束聚焦在待加工位置处，以适应不同面积和厚度的晶圆；所述喷气器的喷气口正对晶圆待加工区域，喷气器用于在加工过程中提供辅助气体以及吹走加工产生的残渣；所述加工运动平台位于末端反射镜的下方，用于固定待加工晶圆，并带动晶圆运动以配合激光加工； 所述CCD自动调焦系统还包括处理器和控制执行机构，所述处理器用于利用集成的图像处理算法对视觉传感器捕获的图像进行处理分析，并给所述控制执行机构和第一Z轴移动模组传输指令，所述第一Z轴移动模组根据指令驱动安装架上下移动，以调节激光焦点与待加工晶圆之间的距离，所述控制执行机构包括设置在所述安装架上并与所述末端反射镜相连的第二Z轴移动模组和第一摆动模组，所述第二Z轴移动模组用于根据指令驱动末端反射镜上下移动，所述第一摆动模组用于根据指令驱动末端反射镜转动，以调节末端反射镜的位置和角度，调节激光焦点的相对位置； 所述准直镜的材料为K9玻璃或者石英玻璃；所述聚焦镜的焦距范围为25-200mm，聚焦镜的透镜直径范围为25-100mm；所述激光器为连续激光器或脉冲激光器，其发出的激光束的脉冲半高宽为1ms，激光束的功率范围为100-3000W，激光器产生的连续激光的能量分布为高斯分布；所述激光器通过插拔式光纤接头与准直镜相连，激光器发出的激光束通过光纤接头进入准直镜中。

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