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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利CVD设备窗口原位清洁方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121423315B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202512014528.5，技术领域涉及：B08B7/00；该发明授权CVD设备窗口原位清洁方法、装置、电子设备及存储介质是由罗爱鑫;郭可升;陈欣环;徐龙;胡强设计研发完成，并于2025-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本CVD设备窗口原位清洁方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供了一种CVD设备窗口原位清洁方法、装置、电子设备及存储介质，涉及CVD设备清洁技术领域。该方法包括步骤：获取CVD设备窗口制作材料和污染物的禁带宽度；根据禁带宽度，选定激光波长；获取CVD设备窗口制作材料和污染物的损伤阈值；根据损伤阈值，选定泵浦电流；根据选定的激光波长和泵浦电流，调整CVD设备中激光器的控制参数，且在完成调整后，控制激光器朝CVD设备窗口发射激光并扫描整个CVD设备窗口，以去除附着在CVD设备窗口上污染物。本发明的方法旨在解决现有技术清洁效率低、易损伤窗口、影响工艺稳定性等问题，实现工艺稳定、提高产品良率、延长设备使用寿命并降低综合维护成本的效果。

本发明授权CVD设备窗口原位清洁方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种CVD设备窗口原位清洁方法，其特征在于，包括以下步骤： S1.获取CVD设备窗口制作材料的禁带宽度并作为第一禁带宽度； S2.获取附着在CVD设备窗口上污染物的禁带宽度并作为第二禁带宽度； S3.根据所述第一禁带宽度和所述第二禁带宽度，选定激光波长；具体步骤包括： S31.根据所述第一禁带宽度和所述第二禁带宽度，确定激光光子能量范围，并根据确定的激光光子能量范围，计算激光波长可选范围；确定的激光光子能量范围满足以下条件： ； 其中，为所述第二禁带宽度，为确定的激光光子能量范围的最小值，为确定的激光光子能量范围的最大值，为所述第一禁带宽度，确定的激光光子能量范围表示为； 根据以下公式计算所述激光波长可选范围： ； ； 其中，为所述激光波长可选范围的最小值，为普朗克常数，为光速，为所述激光波长可选范围的最大值，所述激光波长可选范围表示为； S32.在所述激光波长可选范围内选定所述激光波长； S4.获取CVD设备窗口制作材料的损伤阈值并作为第一损伤阈值； S5.获取附着在CVD设备窗口上污染物的损伤阈值并作为第二损伤阈值； S6.根据所述第一损伤阈值和所述第二损伤阈值，选定泵浦电流；具体步骤包括： S61.根据所述第一损伤阈值和所述第二损伤阈值，确定激光能量密度范围，并根据确定的激光能量密度范围，计算激光功率可选范围；确定的激光能量密度范围满足以下条件： ； 其中，为所述第二损伤阈值，为确定的激光能量密度范围的最小值，为确定的激光能量密度范围的最大值，为所述第一损伤阈值，确定的激光能量密度范围表示为； 根据以下公式计算所述激光功率可选范围： ； ； 其中，为所述激光功率可选范围的最小值，为预设的扫描速度，为预设的激光线宽，为所述激光功率可选范围的最大值，所述激光功率可选范围表示为； S62.根据所述激光功率可选范围，计算泵浦电流可选范围；根据以下公式计算所述泵浦电流可选范围： ； ； 其中，为所述泵浦电流可选范围的最小值，为预设的激光器电光转换效率系数，为预设的脉冲宽度，为预设的脉冲重复频率，为所述泵浦电流可选范围的最大值，所述泵浦电流可选范围表示为； S63.在所述泵浦电流可选范围内选定所述泵浦电流； S7.根据选定的激光波长和泵浦电流，调整CVD设备中激光器的控制参数，且在完成调整后，控制激光器朝CVD设备窗口发射激光并扫描整个CVD设备窗口，以去除附着在CVD设备窗口上污染物。

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