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龙图腾网获悉山西中电科电子装备有限公司申请的专利碳化钽涂层炉用五氯化钽粉料回收系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121466728B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610013937.5，技术领域涉及：B01D53/00；该发明授权碳化钽涂层炉用五氯化钽粉料回收系统及方法是由冀春明;刘晓峰;冯文彪;田冬龙;郭洋;刘家宝;吴忠举;董泽西;周毅帆;曹桂琳;王灵晓设计研发完成，并于2026-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本碳化钽涂层炉用五氯化钽粉料回收系统及方法在说明书摘要公布了：本发明碳化钽涂层炉用五氯化钽粉料回收系统及方法，属于第三代半导体材料制备及资源回收领域；解决了解决现有碳化钽涂层制备工艺中，未参与碳化钽涂层反应的五氯化钽粉料随工艺气流被排出，导致五氯化钽粉料资源浪费的技术问题；技术方案是：该系统包括前级过滤器：用于过滤除五氯化钽气体之外的工艺气体，冷凝收集器：用于从前级过滤器排出的五氯化钽气体冷凝为固态五氯化钽粉料并回收，冷凝收集器的第二进气口与前级过滤器的第一出气口相连通，冷凝收集器的第二出气口通过气动阀门组与前级过滤器的第一进气口、炉体的排气口均相连通，冷凝收集器的第二出气口还连接有真空泵；本发明应用于碳化钽涂层工艺。

本发明授权碳化钽涂层炉用五氯化钽粉料回收系统及方法在权利要求书中公布了：1.碳化钽涂层炉用五氯化钽粉料回收系统，其特征在于：包括： 前级过滤器4：用于过滤除五氯化钽气体之外的工艺气体，其第一进气口46连接于炉体1的排气口，前级过滤器4上还设置有加热装置，且前级过滤器4与炉体1之间的真空管路2上也设置有加热装置； 冷凝收集器5：用于将从前级过滤器4排出的五氯化钽气体冷凝为固态五氯化钽粉料并回收，冷凝收集器5的第二进气口51与前级过滤器4的第一出气口47相连通，冷凝收集器5的第二出气口56通过气动阀门组与前级过滤器4的第一进气口46、炉体1的排气口均相连通，冷凝收集器5的第二出气口56还连接有真空泵6； 冷凝收集器5包括壳体52和冷却装置，冷却装置包括冷却水道和第二温控模块，冷却水道布设于壳体52的外侧壁上，第二温控模块与设置于壳体52内的第二测温装置57耦合； 壳体52内可拆卸连接有收集盘58和若干个收集滤网53，收集盘58与多个收集滤网53共同构成层状结构，收集盘58与与其相邻的收集滤网53之间预留有一定空间，相邻的两个收集滤网53之间预留有一定空间，五氯化钽气体依次通过收集盘58和多个收集滤网53，收集盘58和多个收集滤网53用于收集固态五氯化钽粉料； 多个收集滤网53上远离第二出气口56的一侧均连接有至少一个挡气部件54，且多个收集滤网53上的挡气部件54交错布设。

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