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苏州晶歌半导体有限公司戴文武获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州晶歌半导体有限公司申请的专利MOCVD生长含Al和Sb的外延材料的方法及含Al和Sb的外延材料获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121556135B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610084295.8,技术领域涉及:C30B25/16;该发明授权MOCVD生长含Al和Sb的外延材料的方法及含Al和Sb的外延材料是由戴文武;黄勇设计研发完成,并于2026-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。

MOCVD生长含Al和Sb的外延材料的方法及含Al和Sb的外延材料在说明书摘要公布了:本发明公开了一种MOCVD生长含Al和Sb的外延材料的方法及含Al和Sb的外延材料。所述方法包括:在生长所述外延材料的过程中,不同时通入Al源和Sb源。本发明至少具有以下优点之一:一、采用循环分段式间隔通入Al与Sb的方法,有效避免了Al与Sb的预反应,可以生长出高Sb组分的含Al和Sb的外延材料;二、合理科学地设计了循环分段式通入方法中分段通入的第一时长、第二时长,间隔的第三时长,以及总时长,使得能够生长出高质量的含Al和Sb的外延材料。

本发明授权MOCVD生长含Al和Sb的外延材料的方法及含Al和Sb的外延材料在权利要求书中公布了:1.一种MOCVD生长含Al和Sb的外延材料的方法,其特征在于,所述方法包括:在生长所述外延材料的过程中,不同时通入Al源和Sb源,采用循环分段式间隔通入Al源和Sb源来进行生长,通入Al源的第一时长和通入Sb源的第二时长之间间隔第三时长,通入Al源的第一时长和通入Sb源的第二时长为2-4秒。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州晶歌半导体有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路1202号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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