捷捷微电(南通)科技有限公司周东山获国家专利权
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龙图腾网获悉捷捷微电(南通)科技有限公司申请的专利一种光阻过滤组件及涂胶显影设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224141526U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520985955.0，技术领域涉及：B01D19/00；该实用新型一种光阻过滤组件及涂胶显影设备是由周东山;李一华;吴胜荣设计研发完成，并于2025-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光阻过滤组件及涂胶显影设备在说明书摘要公布了：一种光阻过滤组件及涂胶显影设备，涉及半导体技术领域。该光阻过滤组件包括过滤器、第一排泡阀和三通阀；过滤器具有腔体以及分别与腔体连通的进口、出口和排泡口，进口与涂胶显影设备的光阻瓶连通，光阻瓶内的光阻液由进口流入腔体内；排泡口与第一排泡阀连通，第一排泡阀用于将光阻液内的气泡由排泡口排出；三通阀包括第一接口、第二接口和第三接口，第一接口与过滤器的出口连通；第二接口与涂胶显影设备的喷胶嘴连通；三通阀的第三接口连接有隔膜泵，隔膜泵用于将光阻液内的气泡由第三接口排出。上述光阻过滤组件提高排泡效率，节省时间和人工成本。
本实用新型一种光阻过滤组件及涂胶显影设备在权利要求书中公布了：1.一种光阻过滤组件，其特征在于，包括过滤器110、第一排泡阀120和三通阀130；所述过滤器110具有腔体以及分别与所述腔体连通的进口111、出口112和排泡口113，所述进口111与涂胶显影设备200的光阻瓶210连通，所述光阻瓶210内的光阻液由所述进口111流入所述腔体内；所述排泡口113与所述第一排泡阀120连通，所述第一排泡阀120用于将所述光阻液内的气泡由所述排泡口113排出；所述三通阀130包括第一接口131、第二接口132和第三接口133，所述第一接口131与所述过滤器110的出口112连通；所述第二接口132与所述涂胶显影设备200的喷胶嘴220连通；所述三通阀130的第三接口133连接有隔膜泵140，所述隔膜泵140用于将所述光阻液内的气泡由所述第三接口133排出。
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