安力科技(苏州)有限公司董强获国家专利权
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龙图腾网获悉安力科技(苏州)有限公司申请的专利一种碳化硅衬底抛光液回收再生装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224141668U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520963467.X,技术领域涉及:B01D35/12;该实用新型一种碳化硅衬底抛光液回收再生装置是由董强;曹引;钱志浩设计研发完成,并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅衬底抛光液回收再生装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种碳化硅衬底抛光液回收再生装置,属于碳化硅衬底抛光液回收再生技术领域,包括第一过滤箱以及第二过滤箱,还包括调控机构,所述调控机构包括连通于第一过滤箱内壁的进液管以及出液管,所述进液管以及出液管的一端连通于第二过滤箱的内壁,所述进液管以及出液管的表面均呈“U”状,所述第一过滤箱与第二过滤箱的底部均固定连接有固定架。通过上述方式,通过丝杆与堵架相互配合,实现了对进液管以及出液管的内部一端进行封堵,实现了对进液管以及出液管的内部另一端进行敞开,进而保证在不停机情况下,对第一过滤箱或第二过滤箱内部进行清理,从而避免了停机清理过滤模块,保证了对抛光液的回收再生效率。
本实用新型一种碳化硅衬底抛光液回收再生装置在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅衬底抛光液回收再生装置,包括第一过滤箱100以及第二过滤箱200,其特征在于: 还包括调控机构300,所述调控机构300包括连通于第一过滤箱100内壁的进液管301以及出液管302,所述进液管301以及出液管302的一端连通于第二过滤箱200的内壁,所述进液管301以及出液管302的表面均呈“U”状,所述第一过滤箱100与第二过滤箱200的底部均固定连接有固定架304,所述固定架304的内壁转动连接有丝杆305,所述丝杆305的表面螺纹连接有堵架303,所述堵架303的表面分别滑动连接于进液管301以及出液管302的内壁。
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