江苏微导纳米科技股份有限公司王新征获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利等离子体清洗装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224143067U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520531883.2，技术领域涉及：B08B7/00；该实用新型等离子体清洗装置及半导体设备是由王新征;叶长松设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体清洗装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体工艺技术领域，公开了一种等离子体清洗装置及半导体设备。该等离子体清洗装置包括有远程等离子体源、第一清洗管路和第二清洗管路，远程等离子体源用于产生等离子体。第一清洗管路连接于远程等离子体源和反应腔室，第二清洗管路连接于同一个远程等离子体源和排气管路，且连接于排气控制阀的上游。该装置能够通过第一清洗管路和第二清洗管路分别直接向反应腔室和排气管路输入等离子体，从而避免了等离子体在到达排气控制阀前就已失活，确保了排气控制阀处能够得到彻底的清洗效果，避免了出现副产物堆积、卡顿、堵塞的现象，进而减少了拆卸和清洗的时间成本和人工成本，提高了半导体工艺设备的效能。
本实用新型等离子体清洗装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.等离子体清洗装置，用于清洗半导体设备的反应腔室10以及与所述反应腔室10相连的排气管路11，其特征在于，包括： 远程等离子体源20，所述远程等离子体源20用于产生等离子体； 第一清洗管路21，所述第一清洗管路21的一端连接于所述远程等离子体源20，所述第一清洗管路21的另一端连接于所述反应腔室10，所述等离子体的第一部分能够依次流经所述第一清洗管路21、所述反应腔室10和所述排气管路11； 第二清洗管路22，所述第二清洗管路22的一端和所述第一清洗管路21连接于同一个所述远程等离子体源20，所述第二清洗管路22的另一端连接于所述排气管路11；所述排气管路11设置有排气控制阀111，所述第二清洗管路22连接于所述排气控制阀111的上游，所述等离子体的第二部分能够依次流经所述第二清洗管路22和所述排气管路11。
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