山东聚智半导体科技有限公司赵迎春获国家专利权
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龙图腾网获悉山东聚智半导体科技有限公司申请的专利一种半导体设备升降装置承载平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224147653U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521146264.8，技术领域涉及：B66F7/16；该实用新型一种半导体设备升降装置承载平台是由赵迎春;张胜;杜斌涛;贾会广;闫学军设计研发完成，并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备升降装置承载平台在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种升降装置承载平台，具体为一种半导体设备升降装置承载平台，包括设备柜体，所述设备柜体内壁固定设置有升降装置，且所述设备柜体的侧壁开设有箱体工艺孔，所述升降装置包括固定板，所述固定板上固定连接有气缸，所述气缸的活塞杆一端固定连接有承载板，所述承载板包括第一承载板和第二承载板，所述第一承载板和第二承载板上均固定设置有用于放置晶圆的支撑柱，设置气缸作为升降装置的动力源，通过活塞杆的伸缩带动承载板上下运动，上磁性开关和下磁性开关通过检测活塞杆上的磁环触发信号，实现了对承载板位置的精确反馈，确保了升降过程的准确性和稳定性，实现了对同一晶圆A面和B面的精准处理。
本实用新型一种半导体设备升降装置承载平台在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备升降装置承载平台，包括设备柜体1，所述设备柜体1的侧壁开设有箱体工艺孔11，所述设备柜体1内壁固定设置有升降装置，其特征在于，所述升降装置包括固定板2，所述固定板2上固定连接有气缸3，所述气缸3的活塞杆一端固定连接有承载板4，所述承载板4包括第一承载板41和第二承载板42，所述第一承载板41和第二承载板42上均固定设置有用于放置晶圆的支撑柱5。
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