北京石墨烯研究院;北京石墨烯研究院有限公司;北京大学张文哲获国家专利权
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龙图腾网获悉北京石墨烯研究院;北京石墨烯研究院有限公司;北京大学申请的专利二维材料转移装置及二维材料转移生产线获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224147733U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520832637.0,技术领域涉及:C01B32/194;该实用新型二维材料转移装置及二维材料转移生产线是由张文哲;胡兆宁;陈格;陈健健;郭兵兵;李泽龙;李艳茹;朱丹珠;李虹阳;刘亚宁;林立设计研发完成,并于2025-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本二维材料转移装置及二维材料转移生产线在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体技术领域,公开了一种二维材料转移装置及二维材料转移生产线,本实用新型的二维材料转移装置,包括:吸附台,用于放置目标衬底,吸附台的台面能够吸附目标衬底;加热机构,用于加热吸附台的台面;风刀,设于吸附台的一侧位置,能够朝向吸附台上的目标衬底吹风。本实用新型实施例的二维材料转移装置能够代替人工执行剥离热释放胶带的操作,工艺稳定性高,能够保证力道角度完全一致,大大节省了石墨烯转移的时间,提升了转移效率,并且保证了剥离支撑衬底过程的工艺稳定性,且有助于实现石墨烯转移的批量化。
本实用新型二维材料转移装置及二维材料转移生产线在权利要求书中公布了:1.一种二维材料转移装置,其特征在于,包括: 吸附台1,用于放置承载有二维材料的目标衬底7,所述吸附台1的台面101能够吸附目标衬底7; 加热机构,用于加热所述吸附台1的台面101; 风刀2,设于所述吸附台1的一侧位置,能够朝向所述吸附台1上的目标衬底7吹风。
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