光驰科技(上海)有限公司余海春获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰科技(上海)有限公司申请的专利一种工件装载机构及真空处理腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224148152U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521031746.9，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种工件装载机构及真空处理腔室是由余海春;高文晶;戴晓东;顾鹏鹏;罗俊设计研发完成，并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种工件装载机构及真空处理腔室在说明书摘要公布了：本实用新型属于真空处理技术领域，公开了一种工件装载机构及真空处理腔室。工件装载机构包括容置架和调节组件，多个工件转动设置于容置架；调节组件设于容置架底部且间隔设置有多个，调节组件包括连接件，连接件一侧与容置架滑动配合、滚动配合或固定连接，另一侧设有导向件；导向件可与输送组件滑动配合或滚动配合且调节组件能适应容置架调节偏转角度和或位置。通过导向件与输送组件的配合，以适应容置架调节偏转角度或位置，减小容置架在进出镀膜腔室或定位过程中因振动、受力不均等因素发生卡住、卡死的几率，因而降低了工件装载机构在镀膜过程及搬送过程中的配合精度要求，提高了工件的真空处理质量及真空处理效率。
本实用新型一种工件装载机构及真空处理腔室在权利要求书中公布了：1.一种工件装载机构，其特征在于，包括： 容置架10，多个工件1转动设置于所述容置架10； 调节组件20，所述调节组件20设于所述容置架10底部且间隔设置有多个，所述调节组件20包括连接件21，所述连接件21一侧与所述容置架10滑动配合、滚动配合或固定连接，另一侧设有导向件，所述导向件可与输送组件30滑动配合或滚动配合且所述调节组件20能适应所述容置架10调节偏转角度和或位置。
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