延边大学王诗涵获国家专利权
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龙图腾网获悉延边大学申请的专利一种分体式磁控溅射靶材获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224148154U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520365676.4，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种分体式磁控溅射靶材是由王诗涵;栾书多;吴世宣设计研发完成，并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分体式磁控溅射靶材在说明书摘要公布了：本实用新型涉及磁控溅射靶材技术领域，尤其涉及一种分体式磁控溅射靶材，包括多个扇形靶材，多个所述扇形靶材通过榫卯结构进行首尾连接后呈环形设置，多个所述扇形靶材和榫卯结构之间还设置有弹性锁紧组件进行连接，通过所述弹性锁紧组件和榫卯结构将多个所述扇形靶材在拼接后进行锁固，多个所述扇形靶材呈环形设置后，在其两面嵌入有纳米银导电胶层，所述纳米银导电胶层一侧固定设置有密封圈。该分体式磁控溅射靶材，当局部区域过度损耗时，不需要整体更换靶材，替换掉损耗的靶材即可，使得靶材的利用率大幅度提升，年维护成本降低。
本实用新型一种分体式磁控溅射靶材在权利要求书中公布了：1.一种分体式磁控溅射靶材，其特征在于：包括多个扇形靶材1，多个所述扇形靶材1通过榫卯结构进行首尾连接后呈环形设置，多个所述扇形靶材1和榫卯结构之间还设置有弹性锁紧组件进行连接，通过所述弹性锁紧组件和榫卯结构将多个所述扇形靶材1在拼接后进行锁固； 多个所述扇形靶材1呈环形设置后，在其两面嵌入有纳米银导电胶层4，所述纳米银导电胶层4一侧固定设置有密封圈5。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人延边大学，其通讯地址为：133000 吉林省延边朝鲜族自治州延吉市公园路977号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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