杭州海康微影传感科技有限公司程童飞获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉杭州海康微影传感科技有限公司申请的专利一种靶材获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224148155U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520483764.4，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种靶材是由程童飞设计研发完成，并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种靶材在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种靶材，涉及高真空磁控溅射微纳米薄膜制造领域，旨在提高薄膜制备的均匀性。靶材包括靶面；靶面包括凹陷部，凹陷部环绕靶材的中心，凹陷部的第一截面为弧形。第一截面为沿靶材的径向截断凹陷部所得到的截面。凹陷部的分布位置与磁控溅射设备中磁场强度在靶面上的分布相关，本申请提供的靶材在靶面磁场强度大的区域处形成凹陷部，由于磁场强度小的靶面区域被离子轰击下来的靶材离子较少，磁场强度大的区域本应当被离子轰击下来的靶材离子较多，但由于在靶面磁场强度大的区域处形成凹陷部，一些被轰击下来的靶材离子沉积在了凹陷部的内侧壁上，因此实现平衡，从而达到薄膜均匀沉积的目的。
本实用新型一种靶材在权利要求书中公布了：1.一种靶材，其特征在于，所述靶材包括靶面； 所述靶面包括凹陷部，所述凹陷部环绕所述靶材的中心，所述凹陷部的第一截面为弧形；所述第一截面为沿所述靶材的径向截断所述凹陷部所得到的截面，所述凹陷部在所述第一截面中所呈的弧形的曲率半径的误差大于或等于-20mm，且小于或等于+20mm。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州海康微影传感科技有限公司，其通讯地址为：311501 浙江省杭州市桐庐县桐庐经济开发区求是路299号A1号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励