芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司王金桥获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司申请的专利基片固定装置及气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224148160U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521032102.1，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型基片固定装置及气相沉积设备是由王金桥设计研发完成，并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基片固定装置及气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种基片固定装置及气相沉积设备，基片固定装置包括：基体和多个固定件；所述基体上具有一腔室，所述腔室沿第一方向贯通于所述基体的第一端；所述固定件连接于所述腔室的内壁，各所述固定件沿所述腔室的周向排列设置；所述固定件沿所述第一方向靠近所述第一端的一侧具有固定面，各所述固定件的所述固定面共面设置。通过对基片固定装置的改进，以改善基片与固定装置粘连的现象。
本实用新型基片固定装置及气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种基片固定装置，其特征在于，包括：基体和多个固定件； 所述基体上具有一腔室，所述腔室沿第一方向贯通于所述基体的第一端； 所述固定件连接于所述腔室的内壁，各所述固定件沿所述腔室的周向排列设置； 所述固定件沿所述第一方向靠近所述第一端的一侧具有固定面，各所述固定件的所述固定面共面设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司，其通讯地址为：312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路508号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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