上海悦匠实业有限公司王开兵获国家专利权
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龙图腾网获悉上海悦匠实业有限公司申请的专利一种用于晶圆真空镀膜传送腔的温控装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224148161U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521529745.7，技术领域涉及：C23C14/54；该实用新型一种用于晶圆真空镀膜传送腔的温控装置是由王开兵;于海设计研发完成，并于2025-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆真空镀膜传送腔的温控装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于晶圆真空镀膜传送腔的温控装置，包括温控平台，温控平台的顶面设置有容纳升降托架的凹槽，温控平台底部敞开，并形成有容纳腔，容纳腔内的顶部设置有安装槽，安装槽与凹槽不联通且错开设置，安装槽中设置有温控片，容纳腔中设置有水冷散热结构，温控平台设置有允许升降驱动结构穿过的中心孔，升降驱动结构穿过中心孔连接升降托架，升降驱动结构带动升降托架以及设置于升降托架上的晶圆升降，升降托架下降置于凹槽中时，晶圆与温控平台接触，水冷散热结构和或温控片控制温控平台的温度进而控制晶圆的温度。本实用新型实现传送腔中晶圆温度的稳定调节。
本实用新型一种用于晶圆真空镀膜传送腔的温控装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆真空镀膜传送腔的温控装置，其特征在于，包括温控平台，所述温控平台的顶面设置有容纳升降托架的凹槽，所述温控平台底部敞开，并形成有容纳腔，所述容纳腔内的顶部设置有安装槽，所述安装槽与所述凹槽不联通且错开设置，所述安装槽中设置有温控片，所述容纳腔中设置有水冷散热结构，所述温控平台设置有允许升降驱动结构穿过的中心孔，所述升降驱动结构穿过所述中心孔连接所述升降托架，所述升降驱动结构带动所述升降托架以及设置于所述升降托架上的晶圆升降，所述升降托架下降置于所述凹槽中时，所述晶圆与所述温控平台接触，所述水冷散热结构和或所述温控片控制所述温控平台的温度进而控制所述晶圆的温度。
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