江苏微导纳米科技股份有限公司廖宝臣获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224148163U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520454102.4，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种沉积设备是由廖宝臣;施述鹏;陈程;陈云设计研发完成，并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种沉积设备在说明书摘要公布了：本公开提供一种沉积设备，包括炉管主体、位于炉管主体的进气端的进气系统、位于炉管主体的出气端的出气系统以及位于炉管主体内壁的保护系统，进气系统用于向炉管主体内部通入工艺气体，出气系统用于抽取炉管主体内部的气体，这样利用进气系统提供沉积所需要的工艺气体，利用出气系统抽取气体以保证工艺气体的纯度和反应腔的压力。保护系统包括进气管路和抽气管路，进气管路用于输出保护气体，抽气管路用于从进气管路侧抽取炉管主体的气体，这样保护气体从进气管路向抽气管路流动，进气管路和抽气管路设置在炉管主体的内壁，因此保护气体构成炉管主体内壁上的隔离气幕，隔离工艺气体和炉管主体内壁，避免炉管主体内壁镀膜造成的碎裂问题。
本实用新型一种沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种沉积设备，其特征在于，包括： 炉管主体； 炉管主体位于所述炉管主体的进气端的进气系统，用于向所述炉管主体内部通入工艺气体； 位于所述炉管主体的出气端的出气系统，用于抽取所述炉管主体内部的气体； 所述炉管主体内壁设置的保护系统，所述保护系统包括进气管路和抽气管路，所述进气管路用于输出保护气体，所述抽气管路用于从进气管路侧抽取所述炉管主体的气体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司，其通讯地址为：214111 江苏省无锡市新吴区长江南路27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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