浙江创芯集成电路有限公司莫湘杨获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224148164U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520805831.X，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型化学气相沉积设备是由莫湘杨设计研发完成，并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本公开实施例提供了一种化学气相沉积设备，包括：腔室；位于腔室底部可升降的加热台；围绕加热台设置的抽气部件，抽气部件具有侧壁和底部，其截面呈L型；加热台的上方设置有阴影环，阴影环具有多个耳部，且耳部具有向下凸出的定位销，定位销具有倾斜侧面的锥形部；其中，在抽气部件的侧壁上具有与耳部一一对应的向内凹陷的定位槽，且定位槽的大小大于耳部的大小，在安装完成状态下，耳部一一对应地伸入定位槽；抽气部件的底部具有一一对应的支撑耳部的台阶部，且台阶部具有与定位销相适配的凹槽；安装完成状态下，定位销一一对应地伸入凹槽，以在抽气部件上固定阴影环。采用上述技术方案，可以有效提高阴影环与加热台互相配合的定位精度。
本实用新型化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括： 腔室； 位于所述腔室底部可升降的加热台； 围绕所述加热台设置的抽气部件，所述抽气部件具有侧壁和底部，且所述抽气部件的截面呈L型； 所述加热台的上方设置有阴影环，所述阴影环具有多个耳部，且所述耳部具有向下凸出的定位销，所述定位销具有倾斜侧面的锥形部； 其中，在所述抽气部件的侧壁上具有与所述耳部一一对应的向内凹陷的定位槽，且所述定位槽的大小大于所述耳部的大小，在安装完成状态下，所述耳部一一对应地伸入所述定位槽； 所述抽气部件的底部具有一一对应的支撑所述耳部的台阶部，且所述台阶部具有与所述定位销相适配的凹槽； 安装完成状态下，所述定位销一一对应地伸入所述凹槽，以在所述抽气部件上固定所述阴影环。
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