嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心张亦哲获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心申请的专利一种时间型快速镀膜原子层沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224148167U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423198607.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种时间型快速镀膜原子层沉积装置是由张亦哲;明帅强;李明;王浙加;戴昕童;闻梦瑶;李国庆;徐硕设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种时间型快速镀膜原子层沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于原子层沉积技术领域，涉及一种时间型快速镀膜原子层沉积装置，包括：运输组件、第一加热组件、第二加热组件、第一反应组件、第二反应组件、前驱体输送组件、第一抽取组件和第二抽取组件。本申请提供的一种时间型快速镀膜原子层沉积装置设置有专门用于样品保温的保温腔以及沉积薄膜的工艺腔，节约了样品需要升温至薄膜生长温度所需要的时间，提高了生产效率，能够实现快速镀膜工艺；同时有着低成本、高效率及稳定性生产的优势。
本实用新型一种时间型快速镀膜原子层沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种时间型快速镀膜原子层沉积装置，其特征在于，包括： 运输组件，用于传输样品； 第一加热组件，用于提供预加热空间；所述第一加热组件至少部分包裹所述运输组件； 第二加热组件，用于提供预加热空间；所述第二加热组件与所述第一加热组件连接，且至少部分包裹所述运输组件； 第一反应组件，用于提供反应空间；所述第一反应组件与所述第二加热组件连接，且至少部分包裹所述运输组件； 第二反应组件，用于提供反应空间；所述第二反应组件与所述第一反应组件连接，且至少部分包裹所述运输组件； 前驱体输送组件，用于向所述第一反应组件和所述第二反应组件中输送前驱体；所述前驱体输送组件分别与所述第一反应组件和所述第二反应组件连接； 第一抽取组件，用于在所述第一加热组件和所述第二加热组件内形成真空；所述第一抽取组件分别与所述第一加热组件和所述第二加热组件连接； 第二抽取组件，用于在所述第一反应组件和所述第二反应组件内形成真空；所述第一抽取组件分别与所述第一反应组件和所述第二反应组件连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心，其通讯地址为：314001 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号(嘉兴科技城)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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