嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心赵丽丽获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心申请的专利一种热型原子层沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224148168U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520232196.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种热型原子层沉积装置是由赵丽丽;寿智云设计研发完成，并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种热型原子层沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于原子层沉积技术领域，涉及一种热型原子层沉积装置，包括：反应腔室，用于提供反应空间；抽气泵，用于对所述反应腔室的内部抽取真空；所述抽气泵与所述反应腔室连接；气体检测仪，用于检测所述反应腔室内的气体；所述气体检测仪设置于所述反应腔室内；控制器，用于根据所述气体检测仪的检测结果控制所述抽气泵；所述控制器分别连接所述抽气泵和所述气体检测仪。本申请提供的一种热型原子层沉积装置可以对反应腔室内的气体种类及含量进行检测，如果气体种类或含量不是反应所需，则开启抽气泵排出反应腔室内的气体，降低杂质气体或超量气体对正常反应带来的干扰，降低反应杂质的产生。
本实用新型一种热型原子层沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种热型原子层沉积装置，其特征在于，包括： 反应腔室，用于提供反应空间； 抽气泵，用于对所述反应腔室的内部抽取真空；所述抽气泵与所述反应腔室连接； 气体检测仪，用于检测所述反应腔室内的气体；所述气体检测仪设置于所述反应腔室内； 控制器，用于根据所述气体检测仪的检测结果控制所述抽气泵；所述控制器分别连接所述抽气泵和所述气体检测仪。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心，其通讯地址为：314001 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号(嘉兴科技城)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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