买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉江苏首芯半导体科技有限公司申请的专利加热台及沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224148170U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520820954.0，技术领域涉及：C23C16/46；该实用新型加热台及沉积设备是由李继刚;曾碧瑶;张国伟;王彬设计研发完成，并于2025-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本加热台及沉积设备在说明书摘要公布了：本公开实施例涉及半导体制造领域，提供一种加热台及沉积设备，加热台包括基座、第一加热管道、第二加热管道、第一控温机构以及第二控温机构，第一加热管道内的热传导液由第一流入管道流入第一加热段对基座进行加热，经第一流出管道流出；第二加热管道内的热传导液由第二流入管道流入第二加热段对基座进行加热，经第二流出管道流出，其中，第二加热段环绕设置在第一加热段的外围；第一控温机构为第一加热管道提供热传导液，并控制第一加热管道内的热传导液的温度以及流速；第二控温机构为第二加热管道提供热传导液，并控制第二加热管道内的热传导液的温度以及流速。本公开实施例至少可以减小加热台的制造成本，并提升制备薄膜的可靠性。

本实用新型加热台及沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种加热台，应用于沉积设备，其特征在于，包括： 基座，所述基座设置有用于承载晶圆的承载面； 第一加热管道，所述第一加热管道包括第一加热段和第一流入管道以及第一流出管道，所述第一加热段设置于所述基座内，所述第一加热管道内的热传导液由所述第一流入管道流入所述第一加热段对所述基座进行加热，经所述第一流出管道流出； 第二加热管道，所述第二加热管道包括第二加热段和第二流入管道以及第二流出管道，所述第二加热段设置于所述基座内，所述第二加热管道内的所述热传导液由所述第二流入管道流入所述第二加热段对所述基座进行加热，经所述第二流出管道流出，其中，所述第二加热段环绕设置在所述第一加热段的外围； 第一控温机构，所述第一控温机构与所述第一加热管道连接，用于为所述第一加热管道提供所述热传导液，并控制所述第一加热管道内的所述热传导液的温度以及流速； 第二控温机构，所述第二控温机构与所述第二加热管道连接，用于为所述第二加热管道提供所述热传导液，并控制所述第二加热管道内的所述热传导液的温度以及流速。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏首芯半导体科技有限公司，其通讯地址为：214437 江苏省无锡市江阴市东盛路18号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。