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龙图腾网获悉福建金石智能装备制造有限公司申请的专利一种设置有双层气体匀流结构的大真空腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224148172U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520552827.7，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型一种设置有双层气体匀流结构的大真空腔室是由刘义军;黄致伟;赖礼铭;薛居龙;黄宏波设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种设置有双层气体匀流结构的大真空腔室在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光伏设备领域，公开了一种设置有双层气体匀流结构的大真空腔室，双层气体匀流结构包括管路盒以及设置于管路盒上、下表面的上匀流组件和下匀流组件。管路盒位于腔室内部的中间。进气管包括独立控制进气的上层进气管和下层进气管。其中，上匀流组件从下到上依次包括第一密封圈、扩散匀流板、第二密封圈和网状匀流板。扩散匀流板上设置有扩散匀流孔，扩散匀流孔从中心孔向四周呈“波纹状”散开，且扩散匀流孔离中心孔距离越远，其分布的越密集。扩散匀流板上的中心位于上层进气口上方。网状匀流板上设置有均匀分布的网状匀流孔。本实用新型不仅能够提高破空效率，而且能够改善腔室的气体分布均匀性，降低硅片掉片率，提高良率。

本实用新型一种设置有双层气体匀流结构的大真空腔室在权利要求书中公布了：1.一种设置有双层气体匀流结构的大真空腔室，其特征在于：包括腔室以及设置于腔室内的双层气体匀流结构，所述双层气体匀流结构包括管路盒、上匀流组件和下匀流组件；所述管路盒包括盒体、进气管和出气口，所述盒体呈矩形状，位于腔室内部的中间，进气管和出气口设置于盒体内部，进气口位于腔室外部；所述进气管包括独立控制进气的上层进气管和下层进气管，出气口包括与上层进气管连通的上层出气口和与下层进气管连通下层出气口，所述上匀流组件设置于盒体的上表面，并与上出气口连通；所述下匀流组件设置于盒体的下表面，并与下出气口连通； 所述上匀流组件从下到上依次包括第一密封圈、扩散匀流板、第二密封圈和网状匀流板，所述扩散匀流板和网状匀流板分别固定于盒体的上表面上，盒体上表面、第一密封圈和扩散匀流板底面形成第一匀流腔，扩散匀流板上表面、第二密封圈和网状匀流板形成第二匀流腔；气体从进气管进入后从出气口进入第一匀流腔，再进入第二匀流腔，最后进入腔室内； 所述扩散匀流板上设置有扩散匀流孔，扩散匀流孔从扩散匀流板上的中心孔向四周呈“波纹状”散开，扩散匀流孔离中心孔距离越远，其分布的越密集；所述扩散匀流板上的中心位于上层进气口上方；所述网状匀流板上设置有均匀分布的网状匀流孔。

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