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厦门通富微电子有限公司何腾腾获国家专利权

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龙图腾网获悉厦门通富微电子有限公司申请的专利一种电镀流场遮挡板及电镀系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224148207U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520927509.4,技术领域涉及:C25D17/00;该实用新型一种电镀流场遮挡板及电镀系统是由何腾腾;杨东晓;李司元;汪峰设计研发完成,并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种电镀流场遮挡板及电镀系统在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种电镀流场遮挡板及电镀系统,电镀流场遮挡板用于银金合金凸块的电镀,包括遮挡板本体,遮挡板本体设置有多个开孔;其中,位于遮挡板本体中央区域的开孔的孔径尺寸大于位于遮挡板本体边缘区域的开孔的孔径尺寸。遮挡板本体中央区域的开孔孔径尺寸的提高可以增加镀液对流,有利于电镀时镀液交换,确保电镀时Ag+、Au+浓度稳定,从而提高晶圆中央区域的电镀效率,最终提高晶圆中央区域凸块高度,使晶圆的银金合金凸块高度和银金比例的均一性达到最佳。

本实用新型一种电镀流场遮挡板及电镀系统在权利要求书中公布了:1.一种电镀流场遮挡板,用于银金合金凸块的电镀,其特征在于,包括遮挡板本体,所述遮挡板本体设置有多个开孔;其中, 位于所述遮挡板本体中央区域的所述开孔的孔径尺寸大于位于所述遮挡板本体边缘区域的所述开孔的孔径尺寸。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人厦门通富微电子有限公司,其通讯地址为:361012 福建省厦门市自由贸易试验区厦门片区建港路29号海沧国际物流大厦10楼1001单元F0193;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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