中环领先半导体科技股份有限公司陆波获国家专利权
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龙图腾网获悉中环领先半导体科技股份有限公司申请的专利一种外延机台旋转机构及设有该旋转机构的外延机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224148230U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520597412.1，技术领域涉及：C30B25/12；该实用新型一种外延机台旋转机构及设有该旋转机构的外延机台是由陆波;龚赛;王超;蒋杰;沈宇晨;杨振域;杜金生;郝小辉设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种外延机台旋转机构及设有该旋转机构的外延机台在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种外延机台旋转机构及设有该旋转机构的外延机台，所述旋转机构包括支撑杆和三脚架，所述三脚架上设有安装孔，所述支撑杆的顶端插入所述安装孔，与所述安装孔轴向卡合，所述安装孔的顶部内侧设有凸起，所述支撑杆的顶端上方设有卡槽，所述凸起与所述卡槽周向适配，使所述支撑杆的顶端与所述安装孔周向卡合。本实用新型的有益效果是通过在安装孔内设置凸起，在支撑杆的顶部设置卡槽，凸起与卡槽周向适配卡合，增大了安装孔和支撑杆的周向卡合面积，延长了使用寿命，提高了旋转机构的稳定性，保证了外延工艺的质量，避免出现膜厚、电阻出现均匀性的问题。
本实用新型一种外延机台旋转机构及设有该旋转机构的外延机台在权利要求书中公布了：1.一种外延机台旋转机构，包括支撑杆和三脚架，其特征在于：所述三脚架上设有安装孔，所述支撑杆的顶端插入所述安装孔，与所述安装孔轴向卡合，所述安装孔的顶部内侧设有凸起，所述支撑杆的顶端上方设有卡槽，所述凸起与所述卡槽周向适配，使所述支撑杆的顶端与所述安装孔周向卡合。
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